详情

原文传递一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器

专利名称：	一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器
摘要：	本发明公开了一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，该液体折射率传感器包括直波导和嵌套型微环谐振器，嵌套型微环谐振器由外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)嵌套组成，外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)之间通过波导对波导且带有间距的连接形成耦合区(5‑2)；直波导位于外圈第一环型波导(3)的外侧，与外圈第一环型波导(3)构成带有间隔的耦合区。本发明有效减小了现有液体折射率传感器的体积，可提供高灵敏度，高品质因子，低误差的液体折射率检测，可以在光子集成设备中获得应用。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	东南大学
发明人：	胡国华;杨嘉豪;朱渊;恽斌峰;张若虎;崔一平
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-09T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-28T00:00:00+0800
申请号：	CN201910018409.9
公开号：	CN109813681A
代理机构：	南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人：	柏尚春
分类号：	G01N21/41(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	210033 江苏省南京市栖霞区西岗办事处摄山星城齐民东路8号
主权项：	1.一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：该液体折射率传感器包括直波导和嵌套型微环谐振器，嵌套型微环谐振器由外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)嵌套组成，外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)之间通过波导对波导且带有间距的连接形成第二耦合区(5-2)；直波导位于外圈第一环型波导(3)的外侧，与外圈第一环型波导(3)构成带有间隔的耦合区。 2.如权利要求1所述的一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：所述的直波导为两个单模直波导，二者对称平行分布于外圈第一环型波导(3)的上下两侧，作为底部直波导(1)和顶部直波导(2)，且与外圈第一环型波导(3)处于同一平面，底部直波导(1)与外圈第一环型波导(3)构成带有间隔的第一耦合区(5-1)，顶部直波导(2)与外圈第一环型波导(3)构成带有间隔的第三耦合区(5-3)，且第一耦合区(5-1)和第三耦合区(5-3)的间隔距离相同。 3.如权利要求1所述的一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：所述的嵌套型微环谐振器由外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)嵌套组成中，外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)形状相同，且嵌套方式为几何中心重叠嵌套。 4.如权利要求1所述的一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：所述的外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)均为跑道型环型波导。 5.如权利要求1所述的一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：所述的直波导、外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)的宽度为300nm～450nm。 6.如权利要求1所述的一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：所述的直波导、外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)波导的材料均为SOI材料，即绝缘体衬底上硅材料，且绝缘体衬底上硅材料中顶层硅的厚度为200nm～250nm。 7.如权利要求1所述的一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：所述的底部直波导(1)的一端作为该液体折射率传感器的光波输入端，另一端作为该液体折射率传感器的光信号输出端。 8.如权利要求1所述的一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：所述基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器中所有的波导直接与待测液体接触。
所属类别：	发明专利