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一种基于跑道型微环谐振器的Fano折射率传感器
| 专利名称： | 一种基于跑道型微环谐振器的Fano折射率传感器 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于跑道型微环谐振器的Fano折射率传感器，包括一个直线信道波导、两个闭合跑道型波导和一个断口跑道型波导；两个闭合跑道型波导位于直线信道波导同侧，且每个所述闭合跑道型波导均包括第一上直道段和第一下直道段；每个所述闭合跑道型波导的第一上直道段均与直线信道波导耦合；所述断口跑道型波导包括第二上直道段和第二下直道段；每个所述闭合跑道型波导的第一下直道段均与第二上直道段耦合，形成两段下耦合区域；且第二上直道段中位于两段下耦合区域之间的部分设置有断口。本发明使用时，输入的光在传感器中经过不同的路径，最终在输出端干涉从而形成尖锐的Fano线形，实现高灵敏度，高品质因子，低误差的液体折射率检测功能。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 东南大学 |
| 发明人： | 胡国华;温永娇;恽斌峰;张若虎;崔一平 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-06-27T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-09-24T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910566962.6 |
| 公开号： | CN110274892A |
| 代理机构： | 南京经纬专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 张惠忠 |
| 分类号： | G01N21/45(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 210096 江苏省南京市玄武区新街口街道四牌楼2号 |
| 主权项： | 1.一种基于跑道型微环谐振器的Fano折射率传感器，其特征在于：包括一个直线信道波导、两个闭合跑道型波导和一个断口跑道型波导；两个闭合跑道型波导位于直线信道波导同侧，且每个所述闭合跑道型波导均包括平行的第一上直道段和第一下直道段；每个所述闭合跑道型波导的第一上直道段均与直线信道波导耦合，形成两段上耦合区域；所述断口跑道型波导包括平行的第二上直道段和第二下直道段；每个所述闭合跑道型波导的第一下直道段均与第二上直道段耦合，形成两段下耦合区域；且第二上直道段中位于两段下耦合区域之间的部分设置有断口。 2.根据权利要求1所述的基于跑道型微环谐振器的Fano折射率传感器，其特征在于：所述直线信道波导、闭合跑道型波导和断口跑道型波导均为光栅结构。 3.根据权利要求2所述的基于跑道型微环谐振器的Fano折射率传感器，其特征在于：所述直线信道波导、闭合跑道型波导和断口跑道型波导的光栅结构的构造相同。 4.根据权利要求3所述的基于跑道型微环谐振器的Fano折射率传感器，其特征在于：所述上耦合区域和下耦合区域的耦合间距均相同。 5.根据权利要求1-4任意一项所述的基于跑道型微环谐振器的Fano折射率传感器，其特征在于：所述直线信道波导、闭合跑道型波导和断口跑道型波导的材质均为SOI。 6.根据权利要求5所述的基于跑道型微环谐振器的Fano折射率传感器，其特征在于：所述直线信道波导两端的输入端和输出端设置有渐变结构。 7.根据权利要求5所述的基于跑道型微环谐振器的Fano折射率传感器，其特征在于：两个所述闭合跑道型波导的形状尺寸相同。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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