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原文传递反射光谱监测装置和方法

专利名称：	反射光谱监测装置和方法
摘要：	本申请提供一种反射光谱监测装置和方法，装置包括：光源，用于发射不同波段的探测光束；旋转台，用于放置待测样品，并带动所述待测样品按照预设转速进行转动；其中，所述旋转台转动时，在所述旋转台的每个旋转周期内，所述探测光束照射在所述待测样品上；光谱仪，用于接收所述待测样品在所述探测光束照射下的反射光束，并根据所述反射光束确定所述待测样品的反射光谱。本申请实现了实时检测待测样品的反射光谱。
专利类型：	发明专利
申请人：	度亘激光技术(苏州)有限公司
发明人：	赵勇明;杨国文;张艳春;王刚;祁鲁汉;赵卫东
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T03:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T00:00:00+0805
申请号：	CN202010138969.0
公开号：	CN111208063A
代理机构：	北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	唐菲
分类号：	G01N21/01;G01N21/27;G01N21/552;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/01;G01N21/27;G01N21/552
申请人地址：	215000 江苏省苏州市工业园区苏州金鸡湖大道99号西北区20幢215、217室
主权项：	1.一种反射光谱监测装置，其特征在于，包括：光源，用于发射不同波段的探测光束；旋转台，用于放置待测样品，并带动所述待测样品按照预设转速进行转动；光谱仪，用于接收所述待测样品在所述探测光束照射下的反射光束，并根据所述反射光束确定所述待测样品的反射光谱；其中，所述旋转台转动时，在所述旋转台的每个旋转周期内，所述探测光束照射在所述待测样品上。 2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光谱仪包括：光接收探头，用于接收所述待测样品在所述探测光束照射下的所述反射光束；以及处理器，连接所述光接收探头，用于根据所述反射光束，生成所述待测样品的的反射光谱。 3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光源为白光光源。 4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光源为卤素灯。 5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述探测光束的波长范围为400纳米～1100纳米。 6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：光束准直器，设置在所述光源的发射端，用于准直所述探测光束。 7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述光束准直器为半透镜。 8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：腔室，具有窗口，并设置在所述旋转台上，用以放置所述待测样品，以及使所述待测样品在所述腔室内进行制程反应；其中，在所述旋转台的每个旋转周期内，所述探测光束通过所述窗口后，入射至所述腔室内，并照射在所述待测样品上。 9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：驱动电机，连接所述旋转台，用于驱动所述旋转台转动。 10.一种反射光谱监测方法，其特征在于，包括：放置待测样品在旋转台上的反应腔内，使所述待测样品在所述反应腔内进行相应的制程反应；在所述旋转台转动时，采用光源发射不同波段的探测光束；在所述旋转台的每个旋转周期内，采用所述探测光束照射在所述待测样品上；藉由光谱仪接收所述待测样品在所述探测光束照射下的反射光束，并根据所述反射光束确定所述待测样品的反射光谱。
所属类别：	发明专利