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原文传递一种提高塑性金属电子背散射衍射样品表面质量的方法

专利名称：	一种提高塑性金属电子背散射衍射样品表面质量的方法
摘要：	本发明涉及一种提高塑性金属电子背散射衍射样品表面质量的方法，所述方法包括以下步骤：样品制备、打磨、机械抛光、电解抛光、离子刻蚀；本发明的优点：由于打磨处理能消除样品表面制样的残留痕迹；机械抛光处理能进一步消除表面砂纸打磨残留划痕；电解抛光和离子刻蚀处理均可以去除样品表面的应力层，从而提高电子背散射衍射表征质量，提高了样品表面质量，降低表面应力层，提高样品可解率，从而获得更高质量的电子背散射衍射结果。
专利类型：	发明专利
申请人：	浙江华电器材检测研究所有限公司
发明人：	陈玲;侯嘉鹏;徐爱民;王强;袁衢龙;张哲峰;盛叶弘
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T18:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T07:00:00+0805
申请号：	CN201911309430.0
公开号：	CN110967356A
代理机构：	杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	俞宏涛
分类号：	G01N23/20008;G01N23/203;G;G01;G01N;G01N23;G01N23/20008;G01N23/203
申请人地址：	310015 浙江省杭州市台州路217号
主权项：	1.一种提高塑性金属电子背散射衍射样品表面质量的方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：步骤一：样品制备：沿金属的径向方向获取呈圆柱形的样品；步骤二：打磨：对步骤一获取的样品径向截面进行表面打磨处理；步骤三：机械抛光：将步骤二打磨处理后的样品进行表面机械抛光处理；步骤四：电解抛光：将步骤三机械抛光处理后的样品进行表面电解抛光处理；步骤五：离子刻蚀：将步骤四点解抛光处理后的样品进行表面离子刻蚀处理。 2.根据权利要求1所述的一种提高塑性金属电子背散射衍射样品表面质量的方法，其特征在于：步骤一中的所述样品通过电火花线切割切取而成，且样品的高度等于10mm。 3.根据权利要求1所述的一种提高塑性金属电子背散射衍射样品表面质量的方法，其特征在于：步骤二中的样品通过SiC砂纸进行表面打磨处理。 4.根据权利要求3所述的一种提高塑性金属电子背散射衍射样品表面质量的方法，其特征在于：所述样品的表面打磨处理次数为四次，且四次打磨处理使用的SiC砂纸的表面粒度均不相等。 5.根据权利要求1所述的一种提高塑性金属电子背散射衍射样品表面质量的方法，其特征在于：步骤三中的样品通过MgO水溶液进行表面机械抛光处理，且MgO水溶液包括MgO粉和水，且MgO粉和水的体积比为1:4。 6.根据权利要求1所述的一种提高塑性金属电子背散射衍射样品表面质量的方法，其特征在于：步骤四中的样品通过高氯酸酒精混合溶液进行表面电解抛光处理，所述高氯酸酒精混合溶液包括高氯酸和酒精，且高氯酸和酒精的体积比为1:9，电解抛光的电压为12～16V，电流为0.5～2.0A，电解抛光时间为40～80s，电解抛光温度为0℃。 7.根据权利要求6所述的一种提高塑性金属电子背散射衍射样品表面质量的方法，其特征在于：所述电解抛光温度的通过将装有高氯酸酒精混合溶液的烧杯放置在装有冰水混合物的容器中来控制。 8.根据权利要求1所述的一种提高塑性金属电子背散射衍射样品表面质量的方法，其特征在于：步骤五中的样品通过离子减薄仪进行表面离子刻蚀处理，所述离子减薄包括仪离子刻蚀枪，所述仪离子刻蚀枪的电流为1.0～1.5mA，电压为3.5～4.5kV，倾转角为10～15°，刻蚀时间为30～60min。
所属类别：	发明专利