原文传递
降低细线化线网断线率并提高导轮寿命的硅棒切割方法
| 专利名称： | 降低细线化线网断线率并提高导轮寿命的硅棒切割方法 |
| 摘要： | 本发明涉及降低细线化线网断线率并提高导轮寿命的硅棒切割方法，依次进行长硅棒切割、短硅棒切割和带倾斜端面硅棒切割，分线网位置始终不发生变化，从而起到降低细线化线网断线率并提高导轮寿命的作用。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
| 发明人： | 冯震坤;白瑞强 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 1900-01-20T00:00:00+0805 |
| 发布日期： | 1900-01-20T10:00:00+0805 |
| 申请号： | CN201911353901.8 |
| 公开号： | CN110978304A |
| 代理机构： | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 姬颖敏 |
| 分类号： | B28D5/04;B;B28;B28D;B28D5;B28D5/04 |
| 申请人地址： | 214183 江苏省无锡市惠山区玉祁工业集中区 |
| 主权项： | 1.一种降低细线化线网断线率并提高导轮寿命的硅棒切割方法，包括以下步骤： 1)设置线网：在700mm的导轮两端上绕上宽度相同的线网，两个线网之间通过中央分线网连接，所述分线网的宽度范围为3-4mm； 2)长硅棒切割；先进行长硅棒切割，通过两侧的线网进行长硅棒切割，所述长硅棒的长度范围为700mm-705mm； 3)短硅棒切割：长硅棒切割完成后，再进行短硅棒切割，通过两侧的线网可同时切割两根短硅棒，所述短硅棒的长度范围为349mm-351mm； 4)带倾斜端面硅棒切割：短硅棒切割完后，最后进行带斜端面的硅棒。 2.根据权利要求1所述的降低细线化线网断线率并提高导轮寿命的硅棒切割方法，其特征在于：切割车间可设置三组导轮交替进行长硅棒切割、短硅棒切割和带倾斜端面硅棒切割。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
