专利名称: |
一种晶圆棒自动截断系统 |
摘要: |
一种晶圆棒自动截断系统,包括架体及辊道,用以在所述辊道上对晶圆棒进行分段切割,其特征在于,还具备:测量单元,用于对放置于所述辊道上的所述晶圆棒进行外观扫描以测绘其长度,并确定所述晶圆棒的有效长度;划线单元,基于所述晶圆棒的有效长度以选择合适的划线长度,并确定相应分段的划线位置;以及截断单元,依次在划线位置处对所述晶圆棒进行分段切割;所述测量单元、所述划线单元与所述截断单元依次设置在所述辊道上,且所述测量单元与所述划线单元同侧位于所述架体的一侧,所述截断单元位于所述架体远离所述划线单元的一侧。本实用新型结构设计合理,可自动测量、划线、切断、及张贴标识,自动化程度高且截断精度高。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
内蒙古;15 |
申请人: |
内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
发明人: |
刘振宇;赵国伟;赵子龙;项龙;王建平;郭志荣 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2021-08-25T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2022-03-25T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN202122016741.7 |
公开号: |
CN216127525U |
代理机构: |
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) |
代理人: |
栾志超 |
分类号: |
B28D5/00;B;B28;B28D;B28D5;B28D5/00 |
申请人地址: |
010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区阿木尔南街19号 |
主权项: |
1.一种晶圆棒自动截断系统,包括架体及贯穿所述架体设置的辊道,用以在所述辊道上对晶圆棒进行分段切割,其特征在于,还具备: 测量单元,用于对放置于所述辊道上的所述晶圆棒进行外观扫描以测绘其长度,并确定所述晶圆棒的有效长度; 划线单元,基于所述晶圆棒的有效长度以选择合适的划线长度,并确定相应分段的划线位置;以及 截断单元,依次在划线位置处对所述晶圆棒进行分段切割; 所述测量单元、所述划线单元与所述截断单元依次设置在所述辊道上,且所述测量单元与所述划线单元同侧位于所述架体的一侧,所述截断单元位于所述架体远离所述划线单元的一侧。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆棒自动截断系统,其特征在于,所述测量单元包括: 设置于所述辊道上的测绘仪;以及 用于使所述晶圆棒和所述辊道对中设置的对中装置; 其中,所述测绘仪和所述对中装置均位于所述架体靠近所述辊道上料端一侧;且所述测绘仪绕设于所述晶圆棒外径设置; 所述测绘仪对所述晶圆棒进行扫描并测绘收集其外型数据,以确定所述晶圆棒的头部段长度、尾部段长度和中间等径段长度,并基于标准长度计算出相应划线位置。 3.根据权利要求2所述的一种晶圆棒自动截断系统,其特征在于,所述对中装置包括置于所述辊道两侧的若干限位杆,所有所述限位杆可沿所述辊道的宽度往复移动,并错位设置在所述辊道两侧。 4.根据权利要求2或3所述的一种晶圆棒自动截断系统,其特征在于,所述划线单元包括划线装置; 所述划线装置被置于所述晶圆棒的上方并横跨所述辊道的宽度设置,且位于所述测绘仪与所述架体之间; 划线时,所述划线装置从所述晶圆棒横截面直径的一端沿所述晶圆棒的宽度方向移向另一端进行划线。 5.根据权利要求4所述的一种晶圆棒自动截断系统,其特征在于,所述划线单元还包括: 用于识别定位所述晶圆棒划线位置的划线定位器; 所述划线定位器被固设于所述辊道中间轴线上的缝隙处,并位于所述划线装置的正下方。 6.根据权利要求1-3、5任一项所述的一种晶圆棒自动截断系统,其特征在于,所述截断单元包括: 用于切割晶圆棒的切刀装置;以及 用于识别划线位置的位置传感器; 其中,所述切刀装置固设于所述架体上; 当所述位置传感器识别到所述晶圆棒的划线时,所述晶圆棒静置于所述辊道上,所述切刀装置向下移动并对所述晶圆棒进行切割。 7.根据权利要求6所述的一种晶圆棒自动截断系统,其特征在于,所述截断单元还包括: 用于固定所述晶圆棒的卡紧装置; 所述卡紧装置被置于所述辊道上,沿所示辊道长度方向位于所述切刀装置的两侧设置。 8.根据权利要求1-3、5、7任一项所述的一种晶圆棒自动截断系统,其特征在于,还包括打标单元,具有: 打标机和操作标示贴的打标移动手; 所述打标机收到所述晶圆棒的规格及每段短棒的划线长度后,生成标识贴;所述打标移动手将制成后的标示贴粘贴至每一个短棒的端面。 9.根据权利要求8所述的一种晶圆棒自动截断系统,其特征在于,所述打标移动手与所述打标机均位于所述辊道的同一侧;或 分别位于所述辊道的两侧。 10.根据权利要求9所述的一种晶圆棒自动截断系统,其特征在于,还设有用于控制所述测量单元、所述划线单元、所述截断单元和所述打标单元的中控单元,所述中控单元分别与所述测量单元、所述划线单元、所述截断单元和所述打标单元连通设置。 |
所属类别: |
实用新型 |