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原文传递 一种具有废料收集功能的晶圆切割机
专利名称: 一种具有废料收集功能的晶圆切割机
摘要: 本实用新型公开了一种具有废料收集功能的晶圆切割机,包括底座,所述底座的上端连接有工作台,所述工作台的上端中部设有切割台,所述工作台的上端通过龙门架连接有切割机本体,所述工作台的上端两侧设有罩盖,所述罩盖的一侧等距连接有若干组第一风管,所述第一风管的一侧延伸至龙门架的另一侧连接有箱体,所述工作台的上端两侧分别设有第一滑槽,所述箱体的下端两侧分别连接有第一滑块,所述第一滑块的下端滑接至第一滑槽中,所述第一滑块与第一滑槽之间设有固定结构;本实用新型便于集中废料;便于收集废料;便于清理废料;箱体与工作台连接和分离的操作方便快捷,连接时稳定性好,拆卸时便于分离。
专利类型: 实用新型
国家地区组织代码: 江苏;32
申请人: 苏州翠竹半导体有限公司
发明人: 赵康
专利状态: 有效
申请日期: 2021-09-23T00:00:00+0800
发布日期: 2022-03-15T00:00:00+0800
申请号: CN202122298479.X
公开号: CN216031743U
分类号: B28D5/00;B28D7/02;B28D7/00;B;B28;B28D;B28D5;B28D7;B28D5/00;B28D7/02;B28D7/00
申请人地址: 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区新发路1号四号楼三楼362室
主权项: 1.一种具有废料收集功能的晶圆切割机,包括底座(1),所述底座(1)的上端连接有工作台(2),所述工作台(2)的上端中部设有切割台,所述工作台(2)的上端通过龙门架连接有切割机本体,其特征在于:所述工作台(2)的上端两侧设有罩盖(6),所述罩盖(6)的一侧等距连接有若干组第一风管(5),所述第一风管(5)的一侧延伸至龙门架的另一侧连接有箱体(3),所述工作台(2)的上端两侧分别设有第一滑槽(8),所述箱体(3)的下端两侧分别连接有第一滑块(7),所述第一滑块(7)的下端滑接至第一滑槽(8)中,所述第一滑块(7)与第一滑槽(8)之间设有固定结构,所述箱体(3)的一侧设有箱门(15),所述箱门(15)上等距设有若干组进尘口(13),所述第一风管(5)的一端连接至箱体(3)的进尘口(13)中,所述箱体(3)的上端连接有风机(4)。 2.根据权利要求1所述的一种具有废料收集功能的晶圆切割机,其特征在于:所述罩盖(6)呈L型设置。 3.根据权利要求1所述的一种具有废料收集功能的晶圆切割机,其特征在于:所述固定结构包括第一磁铁(12)、第二磁铁(9),所述第一磁铁(12)连接在第一滑槽(8)的底部,所述第二磁铁(9)连接于第一滑块(7)的底部,所述第二磁铁(9)与第一磁铁(12)相吸。 4.根据权利要求3所述的一种具有废料收集功能的晶圆切割机,其特征在于:所述第一磁铁(12)的上端设有限位槽(11),所述第二磁铁(9)小于第一磁铁(12)的尺寸且位于限位槽(11)中。 5.根据权利要求1所述的一种具有废料收集功能的晶圆切割机,其特征在于:所述第一滑槽(8)的下端宽度大于上端宽度。 6.根据权利要求1所述的一种具有废料收集功能的晶圆切割机,其特征在于:所述风机(4)的上端出风口与箱体(3)的外部连通,且风机(4)的进风端和出风端分别设有滤网。
所属类别: 实用新型
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