原文传递
凹槽检测台及包含该凹槽检测台的传感器检测装置
| 专利名称： | 凹槽检测台及包含该凹槽检测台的传感器检测装置 |
| 摘要： | 本实用新型公开了凹槽检测台及包含该凹槽检测台的传感器检测装置,凹槽检测台，所述检测台包括下部矩形底座和设置在底座上部的观察板,底座中部设置有用于放置待测硅片的凹槽,观察板上设置有两个矩形观察洞口，相邻两个观察洞口之间的板体上还开设有滴液长孔，观察板底部、滴液长孔正下方四周边缘设置有密封垫层，所述底座和观察板的四个角部分别对称设置用于穿过螺栓的孔洞。本实用新型提供的凹槽检测台，制作简单、材料来源广泛、成本低廉，组装方便，视野好。精度高。填补了现阶段实验没有合适装置的空白。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 浙江工贸职业技术学院 |
| 发明人： | 唐星星;刘楠楠;沈国敏 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2021-09-24T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2022-03-22T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN202122319745.2 |
| 公开号： | CN216117431U |
| 代理机构： | 北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 周娓娓;晁璐松 |
| 分类号： | G01N27/00;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/00 |
| 申请人地址： | 325088 浙江省温州市鹿城区黎明东路19号 |
| 主权项： | 1.凹槽检测台，其特征在于：所述检测台包括下部矩形底座(1)和设置在底座(1)上部的观察板(2), 底座(1)中部设置有用于放置待测硅片的凹槽(3), 观察板(2)上设置有两个矩形观察洞口(4)，相邻两个观察洞口(4)之间的板体上还开设有滴液长孔(5)，观察板(2)底部、滴液长孔(5)正下方四周边缘设置有密封垫层（7），所述底座(1)和观察板(2)的四个角部分别对称设置用于穿过螺栓的孔洞(6)。 2.如权利要求1所述的凹槽检测台，其特征在于，凹槽(3)的底面与底座(1)的底面平齐。 3.如权利要求1所述的凹槽检测台，其特征在于，孔洞(6)内设置有与螺栓配合的内螺纹。 4.如权利要求1所述的凹槽检测台，其特征在于，底座(1)和观察板(2)的厚度至少为：4mm。 5.如权利要求1所述的凹槽检测台，其特征在于，底座(1)和观察板(2)采用PMMA材质。 6.如权利要求1所述的凹槽检测台，其特征在于，滴液长孔(5)的长度为：9.8mm,宽度为：2.5mm。 7.如权利要求1所述的凹槽检测台，其特征在于，孔洞(6)的直径至少为1mm。 8.一种包括如权利要求1-7任一项所述的凹槽检测台的传感器检测装置，其特征在于，还包括正电极、负电极、设置在凹槽(3)内的待测硅片以及设置在待测硅片与凹槽(3)空隙间的填充液，待测硅片包括硅片本体和设置在硅片本体上的金属框架，正电极一端与金属框架接触设置，负电极一端设置在填充液内。 9.如权利要求8所述的传感器检测装置，其特征在于，填充液pH值7.4。 10.如权利要求8所述的传感器检测装置，其特征在于，所述金属框架至少有两组，相邻两组金属框架之间留有间隙。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
检索历史
应用推荐
