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原文传递 一种用于痕量杂质分析的样品前处理装置
专利名称: 一种用于痕量杂质分析的样品前处理装置
摘要: 本实用新型公开了一种用于痕量杂质分析的样品前处理装置,包括用于放置待处理的多晶硅样品的样品仓,以及功能底座;所述的样品仓安装在功能底座的上方,功能底座内设有用于向样品仓内输送/排放清洗液体的输送管线,用于在样品仓内形成搅拌的磁力搅拌机构,以及用于控制输送管线进行清洗液体输送和排放、磁力搅拌启停的控制单元。
专利类型: 实用新型
国家地区组织代码: 新疆;65
申请人: 新疆协鑫新能源材料科技有限公司
发明人: 黄二阳;周延江;赵娟龙;李虎;张国瑞
专利状态: 有效
申请日期: 2021-10-22T00:00:00+0800
发布日期: 2022-03-15T00:00:00+0800
申请号: CN202122551828.4
公开号: CN216051512U
代理机构: 江苏圣典律师事务所
代理人: 徐芝强;肖明芳
分类号: G01N27/626;G01N21/63;G;G01;G01N;G01N27;G01N21;G01N27/626;G01N21/63
申请人地址: 831100 新疆维吾尔自治区昌吉回族自治州准东经济技术开发区红沙泉北工业区横四路东段
主权项: 1.一种用于痕量杂质分析的样品前处理装置,其特征在于,包括用于放置待处理的多晶硅样品的样品仓,以及功能底座; 所述的样品仓安装在功能底座的上方,功能底座内设有用于向样品仓内输送/排放清洗液体的输送管线,用于在样品仓内形成搅拌的磁力搅拌机构,以及用于控制输送管线进行清洗液体输送和排放、磁力搅拌启停的控制单元。 2.根据权利要求1所述的用于痕量杂质分析的样品前处理装置,其特征在于,所述的样品仓包括PAF样品仓内仓(1)和PAF样品仓外仓(2);所述的PAF样品仓外仓(2)固定安装在功能底座的顶部,所述的PAF样品仓内仓(1)可拆卸的安装在PAF样品仓外仓(2)内部;PAF样品仓内仓(1)的仓壁上,设有镂空的圆孔(4);PAF样品仓内仓(1)和PAF样品仓外仓(2)相互贴合。 3.根据权利要求2所述的用于痕量杂质分析的样品前处理装置,其特征在于,所述的PAF样品仓外仓(2)的仓壁为中空结构,内部设有电加热丝(3),所述的电加热丝(3)与下方功能底座内的控制单元通过电路连接。 4.根据权利要求2所述的用于痕量杂质分析的样品前处理装置,其特征在于,所述的输送管线包括高纯水管线(8)、排水管线(14)以及淋洗液管线(15);所述的纯水管线(8)、排水管线(14)以及淋洗液管线(15)均位于功能底座内部,且分别通过连接螺母与PAF样品仓外仓(2)的底部连通; 所述的高纯水管线(8)上设有进水电磁阀(7);排水管线(14)上设有排水电磁阀(13),淋洗液管线(15)上设有隔膜泵(16);进水电磁阀(7)、排水电磁阀(13)、隔膜泵(16)分别与功能底座内的控制单元电路连接。 5.根据权利要求2所述的用于痕量杂质分析的样品前处理装置,其特征在于,所述的磁力搅拌机构包括设置在功能底座内的电机(10)和电磁搅拌器(6),所述的电磁搅拌器(6)位于PAF样品仓外仓(2)的底部,与下方的电机(10)通过电磁搅拌器连接轴(9)连接;所述的PAF样品仓内仓(1)内设有对应的PFA转子(5)。 6.根据权利要求2所述的用于痕量杂质分析的样品前处理装置,其特征在于,所述的PAF样品仓外仓(2)的仓壁的顶部和底部,分别设有上液位传感器(17)和下液位传感器(18),所述的上液位传感器(17)和下液位传感器(18)与功能底座内的控制单元电路连接。 7.根据权利要求2所述的用于痕量杂质分析的样品前处理装置,其特征在于,所述的功能底座的外侧,设有主机开关(11)和数控显示屏(12),所述的主机开关(11)和数控显示屏(12)与功能底座内的控制单元电路连接。
所属类别: 实用新型
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