详情

原文传递双轴划片机的Y轴精度对准组件及对准方法

专利名称：	双轴划片机的Y轴精度对准组件及对准方法
摘要：	本发明涉及芯片切割设备技术领域，提供了一种双轴划片机的Y轴精度对准组件及对准方法，该Y轴精度对准组件包括：补光栅工装、图像采集单元和控制单元；补光栅工装布置在第一Y轴上，补光栅工装包括定位片，定位片上设有至少一个定位标识。本发明预先将第二Y轴对准，同时利用第一Y轴上安装的补光栅工装的定位片为第一Y轴和第二Y轴的联动步进对准提供参照基准，控制单元根据第一Y轴和第二Y轴每次联动步进后第一图像中定位标识的成像区域与第一标定区域沿Y轴方向的位置偏差对第一Y轴进行补偿，保证第一Y轴与第二Y轴的同步精度，提升双轴划片机的两个Y轴同时对同一工件的切割质量；由于仅安装一个图像采集单元，安装简单且调试成本低。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	辽宁;21
申请人：	沈阳和研科技有限公司
发明人：	张明明;袁慧珠;吴洪柏;吴德宝;徐双双;石文
专利状态：	有效
申请日期：	2022-02-21T00:00:00+0800
发布日期：	2022-03-22T00:00:00+0800
申请号：	CN202210154377.7
公开号：	CN114211629A
代理机构：	北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	李旦华
分类号：	B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/68;H01L21/304;B;H;B28;H01;B28D;H01L;B28D5;B28D7;H01L21;B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/68;H01L21/304
申请人地址：	110000 辽宁省沈阳市皇姑区步云山路53号
主权项：	1.一种双轴划片机的Y轴精度对准组件，其特征在于，包括：补光栅工装，所述补光栅工装布置在所述双轴划片机的第一Y轴上，所述补光栅工装包括定位片，所述定位片上设有至少一个定位标识，所述定位标识用于为所述双轴划片机的第二Y轴和所述第一Y轴的联动步进对准提供参照基准；其中，所述第一Y轴与所述第二Y轴沿Y轴方向同轴设置；图像采集单元，所述图像采集单元布置在所述双轴划片机的第二Y轴上，所述图像采集单元的镜头用于正对所述定位片设置，使得在所述第二Y轴对准之后，获取包括其中一个所述定位标识的第一图像；控制单元，所述控制单元与所述图像采集单元电连接，用于根据所述第一Y轴和所述第二Y轴每次联动步进后所述第一图像中所述定位标识的成像区域与第一标定区域沿Y轴方向的位置偏差确定第一补偿参数，并基于所述第一补偿参数驱动所述第一Y轴；其中，所述第一标定区域位于所述镜头对应的图像采集区域的第一预定位置。 2.根据权利要求1所述的双轴划片机的Y轴精度对准组件，其特征在于，还包括：标定尺，所述标定尺布置在所述双轴划片机的切割工作台上，所述标定尺包括等间距排列的多个刻度标识，用于为所述双轴划片机的第二Y轴的步进对准提供参照基准；所述图像采集单元的镜头还用于当正对所述刻度标识设置时，获取包括其中一个所述刻度标识的第二图像；所述控制单元还用于根据所述第二Y轴每次步进后所述第二图像中所述刻度标识的成像区域与第二标定区域沿Y轴方向的位置偏差确定第二补偿参数，并向用于驱动所述第二Y轴运动的第二驱动部件下发所述第二补偿参数，所述第二驱动部件基于所述第二补偿参数驱动所述第二Y轴；其中，所述第二标定区域位于所述图像采集单元的镜头对应的图像采集区域的第三预定位置。 3.根据权利要求2所述的双轴划片机的Y轴精度对准组件，其特征在于，所述补光栅工装还包括：基座和调节板；所述基座的上端与所述第一Y轴连接，所述调节板的一端与所述基座的下端垂直连接，所述调节板的另一端沿着靠近所述图像采集单元的方向延伸，用于承载所述定位片。 4.根据权利要求3所述的双轴划片机的Y轴精度对准组件，其特征在于，所述基座的下端设有至少一个第一安装孔，所述第一安装孔内设置有内螺纹；所述调节板上设置有与所述第一安装孔一一对应的第一导向孔，所述第一导向孔的长度延伸方向与X轴方向平行，所述第一导向孔通过第一螺纹连接件与所述第一安装孔一一对位连接。 5.根据权利要求3所述的双轴划片机的Y轴精度对准组件，其特征在于，所述定位片远离所述调节板的一侧设有多个作为所述定位标识的实心圆台；多个所述实心圆台呈线性阵列排布，并且所述实心圆台的直径沿着列排列方向依次递增或者递减；所述列排列方向与X轴方向平行。 6.根据权利要求3所述的双轴划片机的Y轴精度对准组件，其特征在于，所述补光栅工装还包括：第一夹块和第二夹块，所述第一夹块和所述第二夹块设置在所述调节板的上表面；所述第一夹块和所述第二夹块沿着所述定位片的对角线分布，并将所述定位片夹紧。 7.根据权利要求6所述的双轴划片机的Y轴精度对准组件，其特征在于，所述第一夹块和所述第二夹块上均设有第二安装孔，所述调节板上设有与所述第二安装孔一一对应的第二导向孔，所述第二导向孔的长度延伸方向与X轴方向平行；所述第二导向孔通过第二螺纹连接件与所述第二安装孔一一对位连接。 8.一种双轴划片机的Y轴精度对准方法，基于权利要求1至7中任一项所述的双轴划片机的Y轴精度对准组件，其特征在于，包括：在所述第二Y轴完成步进对准之后，调整所述定位片和所述第二Y轴的位置，使所述图像采集单元获取的第一图像中定位标识的成像区域与第一标定区域重叠；驱动所述第二Y轴和所述第一Y轴联动步进，根据所述第一Y轴和所述第二Y轴每次联动步进后获取的所述第一图像中所述定位标识的成像区域与所述第一标定区域沿Y轴方向的位置偏差确定第一补偿参数，并基于所述第一补偿参数驱动所述第一Y轴。 9.根据权利要求8所述的双轴划片机的Y轴精度对准方法，其特征在于，所述使所述图像采集单元获取的第一图像中定位标识的成像区域与第一标定区域重叠，包括：预先定义所述定位标识的成像区域沿Y轴方向的第一边界和第二边界、以及所述第一标定区域沿Y轴方向的第三边界和第四边界，使得所述第一边界和所述第二边界沿Y轴方向的距离与所述第三边界和所述第四边界沿Y轴方向的距离相等；根据所述第一边界与所述第三边界或者所述第二边界与所述第四边界沿Y轴方向的位置偏差驱动所述第二Y轴，使得所述第一边界与所述第三边界重叠，且所述第二边界与所述第四边界重叠。 10.根据权利要求9所述的双轴划片机的Y轴精度对准方法，其特征在于，根据所述第一Y轴和所述第二Y轴每次联动步进后获取的所述第一图像中所述定位标识的成像区域与所述第一标定区域沿Y轴方向的位置偏差确定第一补偿参数，并基于所述第一补偿参数驱动所述第一Y轴，包括：根据所述第一边界与所述第三边界沿Y轴方向的位置偏差、或者所述第二边界与所述第四边界沿Y轴方向的位置偏差确定所述第一补偿参数；根据所述第一补偿参数向用于驱动所述第一Y轴运动的第一驱动部件发送所述第一补偿进给指令。 11.根据权利要求8所述的双轴划片机的Y轴精度对准方法，其特征在于，在根据所述第一Y轴和所述第二Y轴每次联动步进后获取的所述第一图像中所述定位标识的成像区域与所述第一标定区域沿Y轴方向的位置偏差确定第一补偿参数之后，以及在所述第二Y轴和所述第一Y轴下次联动步进之前，包括：单独驱动所述第二Y轴，使所述图像采集单元获取的第一图像中定位标识的成像区域与第一标定区域再次重叠。 12.根据权利要求8所述的双轴划片机的Y轴精度对准方法，其特征在于，所述第二Y轴的步进对准包括：驱动切割工作台至第二预定位置，使所述图像采集单元在所述第二Y轴的零点位置获取的所述第二图像中所述刻度标识的成像区域与所述第二标定区域重叠；驱动所述第二Y轴分度步进，根据所述第二Y轴每次步进后获取的所述第二图像中所述刻度标识的成像区域与第二标定区域沿Y轴方向的位置偏差确定第二补偿参数，并基于所述第二补偿参数驱动所述第二Y轴。
所属类别：	发明专利