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原文传递一种用于半导体设备的光学检测装置

专利名称：	一种用于半导体设备的光学检测装置
摘要：	本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体为一种用于半导体设备的光学检测装置，包括检测台以及位于检测台上端的检测设备、控制器以及底座，所述底座的上端设有多组限位装置，所述限位装置分别位于底座的四侧，所述限位装置包括位于底座上方的限位板以及位于底座内部的电动推杆，所述底座的中心处设有中心槽，所述中心槽的底部设有底板，所述中心槽的顶部设有托板，所述底板的上端设有电磁铁，所述托板的下端设有与电磁铁输出端配合的铁片，限位装置分别布置在底座上端的前后左右四个方位，从而便于对PCB板在底座的上端进行固定，便于对不同尺寸的PCB板进行限位，降低了本结构在使用时的局限性。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	悦之恒(江苏)电子有限公司
发明人：	易玲玲
专利状态：	有效
申请日期：	2022-07-12T00:00:00+0800
发布日期：	2022-11-29T00:00:00+0800
申请号：	CN202221805312.6
公开号：	CN217931448U
分类号：	G01N21/956;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/956
申请人地址：	211111 江苏省南京市江宁区秣陵街道蓝霞路9号2幢(悦之恒)
主权项：	1.一种用于半导体设备的光学检测装置，其特征在于，包括检测台(1)以及位于检测台(1)上端的检测设备(2)、控制器(3)以及底座(4)，所述底座(4)的上端设有多组限位装置，所述限位装置分别位于底座(4)的四侧，所述限位装置包括位于底座(4)上方的限位板(5)以及位于底座(4)内部的电动推杆，所述底座(4)的上端设有位于限位板(5)下方的导向槽(9)，所述限位板(5)的下端设有位于导向槽(9)内部的导向块(8)，所述电动推杆的输出端贯穿导向槽(9)且连接导向块(8)，所述控制器(3)与检测设备(2)以及电动推杆之间分别通过电信号连接，所述底座(4)的上端设有位于导向槽(9)两侧的限位槽(6)，所述限位板(5)的下端设有位于导向块(8)两侧且与限位槽(6)配合的限位块(7)。 2.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的光学检测装置，其特征在于，所述底座(4)的中心处设有中心槽(10)，所述中心槽(10)的底部设有底板(14)，所述中心槽(10)的顶部设有托板(11)，所述底板(14)的上端设有电磁铁(16)，所述托板(11)的下端设有与电磁铁(16)输出端配合的铁片，所述底板(14)的四角处设有顶端连接托板(11)的伸缩杆(17)，所述托板(11)与底板(14)之间设有位于电磁铁(16)四周的弹簧(15)，所述电磁铁(16)与控制器(3)之间通过电信号连接。 3.根据权利要求2所述的一种用于半导体设备的光学检测装置，其特征在于，所述限位板(5)的内壁上设有凹槽(12)，所述凹槽(12)的内壁上设有紧固垫(13)。 4.根据权利要求3所述的一种用于半导体设备的光学检测装置，其特征在于，所述紧固垫(13)为橡胶垫。 5.根据权利要求4所述的一种用于半导体设备的光学检测装置，其特征在于，所述底座(4)的下端设有多个固定板，所述固定板与检测台(1)之间通过螺丝固定。 6.根据权利要求5所述的一种用于半导体设备的光学检测装置，其特征在于，所述底座(4)的上端设有顶板，所述顶板上设有与导向槽(9)、限位槽(6)以及中心槽(10)连通的空槽，所述顶板与底座(4)之间设有多个定位螺丝。