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原文传递一种连续旋转偏振的检测装置

专利名称：	一种连续旋转偏振的检测装置
摘要：	本发明公开了一种连续旋转偏振的检测装置，其包括光源、第一反光部、第二反光部、拍摄部、起偏部和检偏部，由光源单次输出单色光，控制起偏部旋转至该单色光对应的偏振角度，通过起偏部第一角度偏振态的旋转调节，使得明场光路的出光角度发生改变，配合检偏部的第一角度偏振态预设，能够从多种角度对芯片进行检测，待检测芯片上获得不同的打光效果，并结合光源切换不同的颜色时拍摄获得的图样，经过对比分析，可以更全面的获得芯片在不同打光效果下凸显出的缺陷，以及不同检测面上存在的不同的缺陷，提高检测效果、检测精准度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	昂坤视觉(北京)科技有限公司
发明人：	王林梓;张立芳;白宇;付欢;马铁中
专利状态：	有效
申请日期：	2022-08-30T00:00:00+0800
发布日期：	2022-12-02T00:00:00+0800
申请号：	CN202211051598.8
公开号：	CN115420689A
代理机构：	北京华沛德权律师事务所
代理人：	马苗苗
分类号：	G01N21/21;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/21
申请人地址：	102206 北京市昌平区昌平路97号新元科技园B座503室
主权项：	1.一种连续旋转偏振的检测装置，其特征在于，其包括：光源，可输出不同颜色的第一光路；第一反光部和第二反光部，所述第一反光部设于所述第一光路的路径中，并反射所述第一光路至所述第二反光部上，所述第二反光部用于设在芯片上方，并反射所述第一光路至所述芯片上；拍摄部，用于设在所述芯片上方，并用于对所述芯片进行图像拍摄；起偏部，可转动的设于所述光源与所述第一反光部之间，以使所述第一光路具备第一角度偏振态；检偏部，可转动的设于所述拍摄部与所述第二反光部之间，且所述检偏部具有第二角度偏振态。 2.如权利要求1所述连续旋转偏振的检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括驱动部，所述驱动部的输出端与所述起偏部连接，并用于驱动所述起偏部轴向旋转。 3.如权利要求2所述连续旋转偏振的检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括控制器及指示件，所述指示件设于所述驱动部上，并当所述驱动部每驱动所述起偏部旋转一圈时，向所述控制器输出识别信号，所述控制器与所述驱动部连接，并通过所述识别信号控制所述起偏部的旋转角度。 4.如权利要求3所述连续旋转偏振的检测装置，其特征在于：所述指示件包括旋转部和识别部，所述旋转部与所述驱动部的输出端连接，所述识别部设在所述旋转部的移动路径上，所述控制器与所述识别部连接，所述识别部将所述旋转部经过所述识别部时产生的识别信号输送至所述控制器。 5.如权利要求1所述连续旋转偏振的检测装置，其特征在于：所述起偏部的旋转轴与所述检偏部的旋转轴相互平行。 6.如权利要求5所述连续旋转偏振的检测装置，其特征在于：所述第一光路穿过所述起偏部的旋转轴。 7.如权利要求6所述连续旋转偏振的检测装置，其特征在于：所述第一光路由所述芯片进入所述拍摄部时，穿过所述检偏部的旋转轴。 8.如权利要求1所述连续旋转偏振的检测装置，其特征在于：所述起偏部与所述检偏部采用偏振片。 9.如权利要求1所述连续旋转偏振的检测装置，其特征在于：所述起偏部与所述光源之间、所述第一反光部与所述第二反光部之间、所述第二反光部与所述芯片之间、所述第二反光部与所述拍摄部之间均设有透镜。 10.如权利要求1所述连续旋转偏振的检测装置，其特征在于：所述光源采用光纤引向所述第一反光部。