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原文传递基于激光光源的光学检测系统及激光光学系统

专利名称：	基于激光光源的光学检测系统及激光光学系统
摘要：	一种基于激光光源的光学检测系统，其包括至少一激光光源装置、至少一感测装置以及图像检测装置。经由照明光路，激光光源装置提供激光至目标物上，使目标物产生荧光。经由成像光路，感测装置接收自目标物产生的荧光，以产生荧光图像。图像检测装置连接至感测装置，用以接收并分析荧光图像，以获得荧光检测结果。一种激光光学系统亦被提出。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	由田新技股份有限公司
发明人：	林伯聪;黄冠勋;李岳龙;黄建文
专利状态：	有效
申请日期：	2022-08-26T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-07T00:00:00+0800
申请号：	CN202211033799.5
公开号：	CN117007511A
代理机构：	北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人：	荣甜甜;臧建明
分类号：	G01N21/01;G01N21/64;G02B27/48;G;G01;G02;G01N;G02B;G01N21;G02B27;G01N21/01;G01N21/64;G02B27/48
申请人地址：	中国台湾新北市中和区连城路268号10楼之1
主权项：	1.一种基于激光光源的光学检测系统，其特征在于，包括：至少一激光光源装置，经由照明光路，提供激光至目标物上，使所述目标物产生荧光；至少一感测装置，经由成像光路，接收自所述目标物产生的所述荧光，以产生荧光图像；以及图像检测装置，连接至所述至少一感测装置，用以接收并分析所述荧光图像，以获得荧光检测结果。 2.根据权利要求1所述的基于激光光源的光学检测系统，其特征在于，所述目标物包括半导体装置、半导体晶圆、半导体芯片、电路板、显示面板或其他含有有机物的物体。 3.根据权利要求1所述的基于激光光源的光学检测系统，其特征在于，所述激光光源装置包括多个侧光源，以不同的入射角度照射所述目标物，使所述目标物产生荧光。 4.根据权利要求1所述的基于激光光源的光学检测系统，其特征在于，还包含：分光镜，经由所述照明光路，自所述激光光源装置引导所述激光至所述目标物上，并经由所述成像光路，自所述目标物引导所述荧光至所述感测装置。 5.根据权利要求1所述的基于激光光源的光学检测系统，其特征在于，感测装置，经由所述照明光路，通过物镜系统或定焦镜系统接收自所述目标物产生的所述荧光，以产生所述荧光图像。 6.根据权利要求1所述的基于激光光源的光学检测系统，其特征在于，所述感测装置的类型包括线扫描摄影机和/或面扫描摄影机。 7.根据权利要求1所述的基于激光光源的光学检测系统，其特征在于，还包含：光源滤镜模块，经由所述照明光路，使所述激光的激发光波长成分通过至目标物上；以及感测装置滤镜模块，经由所述成像光路，使所述荧光的波长成分通过，藉以产生所述荧光图像。 8.根据权利要求1所述的基于激光光源的光学检测系统，其特征在于，所述激光光源装置包括：发光单元，用以提供所述激光；匀化光纤，连接至所述发光单元，接收并传输所述激光；以及高频振荡器，设置在所述匀化光纤的入光端，藉以振动所述匀化光纤。 9.根据权利要求8所述的基于激光光源的光学检测系统，其特征在于，所述发光单元包括高斯分布的激光光源。 10.一种基于激光光源的光学检测系统，其特征在于，包括：物镜，经由成像光路对目标物成像；激光光源装置，经由照明光路，通过所述物镜提供激光至所述目标物上，使所述目标物产生荧光；光源滤镜模块，经由所述照明光路，使所述激光的激发光波长成分通过至所述目标物上；线扫描摄影机，经由所述成像光路，通过所述物镜接收自所述目标物上的所述荧光，以获得荧光图像；感测装置滤镜模块，经由所述成像光路，使所述荧光的波长成分通过，藉以产生所述荧光图像；以及图像检测装置，连接至所述线扫描摄影机，接收并分析所述荧光图像，以获得荧光检测结果。 11.根据权利要求10所述的基于激光光源的光学检测系统，其特征在于，所述目标物包括半导体装置、半导体晶圆、半导体芯片、电路板、显示面板或其他含有有机物的物体。 12.根据权利要求10所述的基于激光光源的光学检测系统，其特征在于，还包含：分光镜，设置于所述照明光路与所述成像光路之间，自所述激光光源装置引导所述激光至所述目标物上，并经由所述成像光路，自所述目标物引导所述荧光至所述线扫描摄影机。 13.根据权利要求10所述的基于激光光源的光学检测系统，其特征在于，所述激光光源装置包括：发光单元，用以提供所述激光；匀化光纤，连接至所述发光单元，接收并传输所述激光；以及高频振荡器，设置在所述匀化光纤的入光端，藉以振动所述匀化光纤。 14.根据权利要求13所述的基于激光光源的光学检测系统，其特征在于，所述发光单元包括高斯分布的激光光源。 15.一种激光光学系统，其特征在于，包括：发光单元，经由照明光路，提供激光至目标物上，使所述激光于感测装置上产生目标物图像；匀化光纤，经由所述照明光路，自所述发光单元接收并传输所述激光；高频振荡器，设置在所述匀化光纤的入光端，振动所述匀化光纤，藉以降低所述目标物图像上的光斑。 16.根据权利要求15所述的激光光学系统，其特征在于，所述发光单元包括高斯分布的激光光源。 17.根据权利要求15所述的激光光学系统，其特征在于，还包括：所述感测装置，经由成像光路，接收自所述目标物反射的所述激光，以产生所述目标物图像；以及图像检测装置，连接至所述感测装置，用以接收并分析所述目标物图像，以获得图像检测结果。 18.根据权利要求17所述的激光光学系统，其特征在于，还包括：分光镜，经由所述照明光路，自所述发光单元引导所述激光至所述目标物上，并经由所述成像光路，自所述目标物引导所述激光至所述感测装置。