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原文传递一种晶圆键合质量检测结构

专利名称：	一种晶圆键合质量检测结构
摘要：	本实用新型公开了一种晶圆键合质量检测结构，包括底板和晶圆本体，所述底板的上表面固定连接有L型杆，L型杆的顶部固定连接有红外镜头，所述底板的上表面固定连接有多个第一拉簧，多个所述第一拉簧的顶部固定连接有滑板，所述滑板的上表面设有对晶圆本体进行夹持固定的夹持机构，所述底板的上表面设有对滑板的高度进行调节的调节机构。本实用新型不仅能够避免晶圆与摄像头之间距离过近，导致画面模糊，提高了检测结构的检测效果，而且能够防止在对晶圆进行检测的过程中晶圆的位置发生偏移，提高了检测结构使用的稳定性，还能够减小夹持机构对晶圆带来的作用力，避免对晶圆造成损伤，提高了检测结构的使用效果。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	无锡明祥电子有限公司
发明人：	侯士保;王子龙
专利状态：	有效
申请日期：	2023-04-27T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-07T00:00:00+0800
申请号：	CN202320992710.1
公开号：	CN219978152U
代理机构：	无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	肖晨
分类号：	G01N21/88;H01L21/66;G01N21/01;G;H;G01;H01;G01N;H01L;G01N21;H01L21;G01N21/88;H01L21/66;G01N21/01
申请人地址：	214183 江苏省无锡市惠山区经济开发区玉祁配套区祁北路北侧
主权项：	1.一种晶圆键合质量检测结构，包括底板(2)和晶圆本体(5)，其特征在于，所述底板(2)的上表面固定连接有L型杆，L型杆的顶部固定连接有红外镜头(4)，所述底板(2)的上表面固定连接有多个第一拉簧(8)，多个所述第一拉簧(8)的顶部固定连接有滑板(3)，所述滑板(3)的上表面设有对晶圆本体(5)进行夹持固定的夹持机构，所述底板(2)的上表面设有对滑板(3)的高度进行调节的调节机构。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆键合质量检测结构，其特征在于，所述调节机构包括两个齿条(11)，两个所述齿条(11)均与底板(2)相固定，所述滑板(3)的两侧均转动连接有转轴(22)，转轴(22)的外侧键连接有齿轮(20)，且齿轮(20)与齿条(11)相啮合，所述齿轮(20)的一侧固定连接有多个凸杆(21)，所述滑板(3)的两侧均固定连接有固定架(16)，固定架(16)的一侧开设有滑口，滑口内滑动连接有滑架(17)，滑架(17)的一侧开设有插口，且凸杆(21)与插口插接，所述滑架(17)的一侧固定连接有弹簧(19)，且弹簧(19)与固定架(16)相固定。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆键合质量检测结构，其特征在于，所述夹持机构包括两个滑槽(10)，两个所述滑槽(10)均开设在滑板(3)的上表面，两个所述滑槽(10)内滑动连接有两个对晶圆本体(5)进行夹持的夹架(12)，其中一个所述滑槽(10)内转动连接有双向螺纹杆(9)，且双向螺纹杆(9)穿过两个夹架(12)并与两个夹架(12)螺纹连接。 4.根据权利要求3所述的一种晶圆键合质量检测结构，其特征在于，两个所述夹架(12)的一侧均固定连接有防护垫(13)，另一个所述滑槽(10)内固定连接有导向杆(24)，且导向杆(24)穿过两个夹架(12)。 5.根据权利要求3所述的一种晶圆键合质量检测结构，其特征在于，所述双向螺纹杆(9)的一端延伸出滑板(3)固定连接有旋钮(14)，旋钮(14)的一侧固定连接有橡胶垫(15)。 6.根据权利要求2所述的一种晶圆键合质量检测结构，其特征在于，所述转轴(22)的一端固定连接有摇把(23)，所述固定架(16)内固定连接有伸缩杆(18)，且伸缩杆(18)与滑架(17)相固定。 7.根据权利要求1所述的一种晶圆键合质量检测结构，其特征在于，所述底板(2)的上表面固定连接有两个固定座(7)，两个所述固定座(7)的上表面均固定连接有减震垫(6)，且减震垫(6)与滑板(3)相接触。 8.根据权利要求7所述的一种晶圆键合质量检测结构，其特征在于，所述底板(2)的底部固定连接有多个底脚(1)，多个所述底脚(1)的底部均固定连接有防滑垫。
所属类别：	实用新型