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原文传递传送手臂

专利名称：	传送手臂
摘要：	本发明涉及半导体设备上用于传送、运载晶片的手臂装置，尤其能安全传送运载带有翘曲变型的晶片的机械传送手臂，在传送手臂本体上设有吸盘，在传送手臂本体内部设有与吸盘相通的真空通道。本发明可以解决现有机器人上的传送手臂不能传送有翘曲变型的晶片等问题，这种手臂不仅可以传送标准的晶圆，也可以紧紧的吸附住带有翘曲变型的晶片，使之在传送过程中不会发生偏移和掉片。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	辽宁;21
申请人：	沈阳芯源微电子设备有限公司
发明人：	王绍勇
专利状态：	有效
申请日期：	2007-11-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200710158320.X
公开号：	CN101434069
代理机构：	沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人：	张志伟
分类号：	B25J15/06(2006.01)I
申请人地址：	110168辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号
主权项：	1、一种传送手臂，其特征在于：在传送手臂本体上设有吸盘，在传送手臂本体内部设有与吸盘相通的真空通道。
所属类别：	发明专利