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原文传递 晶片抓取手臂
专利名称: 晶片抓取手臂
摘要: 本实用新型晶片抓取手臂,包括有本体、盖板以及通气管,其中 盖板位于本体的底面,而通气管位于本体的尾端,且盖板的外表面与 本体的底面齐平,如此一来,在晶片抓取手臂伸入于卡匣中欲吸取晶 片时,便不会刮伤层叠存放下方的晶片表面。
专利类型: 实用新型专利
国家地区组织代码: 台湾;TW
申请人: 林进达
发明人: 林进达
专利状态: 有效
申请日期: 2008-08-04T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200820132185.1
公开号: CN201252093
代理机构: 北京申翔知识产权代理有限公司
代理人: 周春发
分类号: H01L21/683(2006.01)I
申请人地址: 中国台湾新竹市埔顶路162-1号1楼
主权项: 1、一种晶片抓取手臂,其特征在于,包括: 一本体,具有一凹槽设置于该本体的底面,而该凹槽的表面上形成 有一第一气道; 一盖板,对应盖合于该凹槽上以封闭第一气道,且该盖板的外表面 与该本体的底面齐平;以及 一通气管,组接于该本体的尾端并与第一气道连通。
所属类别: 实用新型
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