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原文传递一种晶圆传送机器人手臂机构

专利名称：	一种晶圆传送机器人手臂机构
摘要：	本发明涉及一种晶圆传送机器人手臂机构，具体的说是指应用在晶圆传送机器人上的手臂机构。该机构由底座、大臂、导引臂、次大臂、小臂、末端执行器六部分组成，导引臂与末端执行器固连，大臂与底座、次大臂与底座、大臂与导引臂、小臂与导引臂、次大臂与小臂之间通过转动轴连接，形成一个平面五杆并联驱动机构。大臂和次大臂分别由两台伺服电机驱动，两电机只需满足一定的运动关系，即可实现末端执行器的法兰盘中心在其工作空间内的任意直线运动。本发明综合了SCARA型与蛙腿型两种手臂机构的优点，该手臂机构不包含同步带、齿轮、钢带等易磨、易损传动件，因此具有较高的洁净度和可靠性，可应用于半导体行业中的晶圆传送机器人。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	辽宁;21
申请人：	沈阳新松机器人自动化股份有限公司
发明人：	曲道奎;王凤利;王金涛;徐方
专利状态：	有效
申请日期：	2010-11-26T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201010563828.X
公开号：	CN102476749A
代理机构：	沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
代理人：	张志伟
分类号：	B65G49/07(2006.01)I
申请人地址：	110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
主权项：	一种晶圆传送机器人手臂机构，其特征是，该机构由底座、大臂、导引臂、次大臂、小臂、末端执行器六部分组成，导引臂与末端执行器固连，大臂与底座、次大臂与底座、大臂与导引臂、小臂与导引臂、次大臂与小臂之间通过转动轴连接，形成一个平面五杆并联驱动机构。
所属类别：	发明专利