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用于传递晶圆的机械手臂及该机械手臂中的插片组件
| 专利名称： | 用于传递晶圆的机械手臂及该机械手臂中的插片组件 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于传递晶圆的机械手臂。本实用新型将机械手 臂中的前端定位台与插片之间的单点固定方式改为两点固定方式，以避免前 端定位台由于其限位凸台被晶圆碰撞而发生旋转偏移，从而避免圆形限位区 域的局部形状和大小发生变化，进而避免晶圆由于在圆形限位区域内滑动而 撞击破碎。本实用新型还公开了一种用于传递晶圆的机械手臂中的插片组 件。 |
| 专利类型： | 实用新型专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 发明人： | 万 川 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-09-09T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200820110167.3 |
| 公开号： | CN201282134 |
| 代理机构： | 北京德琦知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 王 琦;王诚华 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 100176北京市经济技术开发区文昌大道18号 |
| 主权项： | 1、一种用于传递晶圆的机械手臂，该机械手臂具有U型的插片，所述U 型插片的两个分叉的前端分别安装有一个用于支撑晶圆的前端定位台，其中， 每个前端定位台通过一个螺栓固定于所述U型插片； 其特征在于， 每个前端定位台的下表面具有一凹槽； 所述U型插片的每个分叉前端上表面分别具有一固定栓； 每个前端定位台的所述凹槽套接于所述固定栓。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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