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原文传递用于晶圆检测的机械手上下料设备

专利名称：	用于晶圆检测的机械手上下料设备
摘要：	本实用新型提供用于晶圆检测的机械手上下料设备，涉及晶圆检测技术领域，以解决现有的晶圆检测的机械手上下料设备无法联动自动实现晶圆限位，运行不够稳定，无法辅助除尘，同时晶圆安装效果不佳，整体上下料效率低的问题；包括安装支撑座；所述安装支撑座上转动连接有运行装置；运行装置上固定连接有安装部；安装部上固定连接有四个复位装置；安装部上滑动连接有四个推进装置；四个推进装置上分别滑动连接有缓冲定位装置，通过吸风箱进行吸风，期间机械手可以自由放置拿取晶圆，防尘效果更好，适用范围更广，对晶圆的自动固定与解除固定，既能保证运行稳定性，同时又能辅助便于机械手拿取晶圆。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	河北;13
申请人：	三河市致欣科技有限公司
发明人：	程玉学;杨雪梅
专利状态：	有效
申请日期：	2022-02-21T00:00:00+0800
发布日期：	2023-01-13T00:00:00+0800
申请号：	CN202220431523.1
公开号：	CN218289380U
分类号：	B65G47/04;B65G29/00;B08B5/04;B;B65;B08;B65G;B08B;B65G47;B65G29;B08B5;B65G47/04;B65G29/00;B08B5/04
申请人地址：	065200 河北省廊坊市三河市燕郊开发区燕昌路西侧、欧森工业园院内A1厂房
主权项：	1.用于晶圆检测的机械手上下料设备，其特征在于：包括安装支撑座(1)；所述安装支撑座(1)上转动连接有运行装置(2)；运行装置(2)上固定连接有安装部(3)；安装部(3)上固定连接有四个复位装置(4)；安装部(3)上滑动连接有四个推进装置(5)；四个推进装置(5)上分别滑动连接有缓冲定位装置(6)；所述安装支撑座(1)包括：安装支撑盘(101)，安装支撑盘(101)底部两侧分别固定连接有安装脚板(1011)；所述运行装置(2)包括：运行转轴(201)，运行转轴(201)转动连接在安装支撑盘(101)上；运行转轴(201)底部设有锥齿轮；运行转轴(201)通过底部的锥齿轮啮合于安装支撑座(1)上的电机锥齿轮(103)。 2.如权利要求1所述用于晶圆检测的机械手上下料设备，其特征在于：所述安装支撑座(1)还包括：驱动电机(102)，驱动电机(102)安装在安装支撑盘(101)上；驱动电机(102)轴端设有电机锥齿轮(103)。 3.如权利要求1所述用于晶圆检测的机械手上下料设备，其特征在于：所述运行装置(2)还包括：联动挤压件(202)，联动挤压件(202)固定连接在安装支撑盘(101)上；联动挤压件(202)上设有三个挤压块；联动挤压件(202)内部穿过有运行转轴(201)。 4.如权利要求1所述用于晶圆检测的机械手上下料设备，其特征在于：所述安装部(3)包括：运行安装盘(301)，运行安装盘(301)固定连接在运行转轴(201)上；运行安装盘(301)上设有四个缺口槽(3011)；吸风机(302)，吸风机(302)安装在运行安装盘(301)上；吸风箱(303)，吸风箱(303)设有四个，四个吸风箱(303)分别嵌装在四个缺口槽(3011)上；吸风箱(303)底部管接吸风机(302)。 5.如权利要求4所述用于晶圆检测的机械手上下料设备，其特征在于：所述复位装置(4)包括：复位支撑座(401)，复位支撑座(401)固定连接在运行安装盘(301)底部；滑动安装轴(402)，滑动安装轴(402)滑动连接在复位支撑座(401)上；滑动安装轴(402)上套装有弹簧。 6.如权利要求4所述用于晶圆检测的机械手上下料设备，其特征在于：所述推进装置(5)包括：推进移动块(501)，推进移动块(501)设有四个，四个推进移动块(501)分别滑动连接在运行安装盘(301)上；联动杆(502)，联动杆(502)设有四个，四个联动杆(502)分别固定连接在四个推进移动块(501)底部；四个联动杆(502)底部穿过运行安装盘(301)；四个联动杆(502)底部与联动挤压件(202)平齐。 7.如权利要求6所述用于晶圆检测的机械手上下料设备，其特征在于：所述缓冲定位装置(6)包括：滑动推进轴(601)，滑动推进轴(601)设有八个，八个滑动推进轴(601)两两一组分别滑动连接在四个推进移动块(501)上；滑动推进轴(601)后侧均设有弹簧；推进垫块(602)，推进垫块(602)设有四个，四个推进垫块(602)分别固定连接在八个滑动推进轴(601)上。