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原文传递用于晶圆的自动化输送检测设备

专利名称：	用于晶圆的自动化输送检测设备
摘要：	本实用新型公开了用于晶圆的自动化输送检测设备，包括机架，机架上固定安装有晶圆夹持机构和缺陷检测机构，缺陷检测机构设置在晶圆夹持机构的上方，晶圆夹持机构包括数个夹爪和数个第一气缸，数个夹爪圆形阵列布置安装在机架上，夹爪包括下爪和上爪，下爪固定安装在机架上，第一气缸的伸缩杆一一对应带动上爪平移运动，上爪一一对应设置在下爪的下方，机架内固定安装有第二气缸，第二气缸的伸缩杆处固定安装有气缸架，气缸架内固定安装有第三气缸，第三气缸竖向设置在晶圆夹持机构的中部，第三气缸的伸缩杆处固定安装有顶板，机架上固定安装有输送机构，晶圆夹持机构和输送机构之间相互左右分开设置，输送机构高于夹爪设置。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市固得沃克电子有限公司
发明人：	李玫媛;苏奕翰
专利状态：	有效
申请日期：	2022-09-15T00:00:00+0800
发布日期：	2022-12-23T00:00:00+0800
申请号：	CN202222452315.2
公开号：	CN218114283U
代理机构：	深圳市汇信知识产权代理有限公司
代理人：	张志凯
分类号：	B65G49/07;B25B11/00;B;B65;B25;B65G;B25B;B65G49;B25B11;B65G49/07;B25B11/00
申请人地址：	518000 广东省深圳市福田区华强北街道华航社区华富路1004号南光大厦327
主权项：	1.用于晶圆的自动化输送检测设备，包括机架，机架上固定安装有晶圆夹持机构和缺陷检测机构，缺陷检测机构设置在晶圆夹持机构的上方，其特征在于：晶圆夹持机构包括数个夹爪和数个第一气缸，数个夹爪圆形阵列布置安装在机架上，夹爪包括下爪和上爪，下爪固定安装在机架上，第一气缸的伸缩杆一一对应带动上爪平移运动，上爪一一对应设置在下爪的下方，机架内固定安装有第二气缸，第二气缸横向设置，第二气缸的伸缩杆处固定安装有气缸架，气缸架内固定安装有第三气缸，第三气缸竖向设置在晶圆夹持机构的中部，第三气缸的伸缩杆处固定安装有顶板，机架上固定安装有输送机构，晶圆夹持机构和输送机构之间相互左右分开设置，输送机构高于夹爪设置。 2.根据权利要求1所述的用于晶圆的自动化输送检测设备，其特征在于：输送机构包括输送架、主动轴、从动轴、电机、链轮和链条，输送架固定安装在机架的上侧，主动轴和从动轴分别转动配合安装在输送架内的左右两端，电机固定安装在输送架的后侧，电机带动主动轴旋转，链轮设置有四个，四个链轮分别固定安装在主动轴和从动轴的前后两端，链条设置有两个，两个链条之间相互前后分开设置，两个链条一一对应配合安装在主动轴和从动轴的链轮上。 3.根据权利要求2所述的用于晶圆的自动化输送检测设备，其特征在于：链条的上侧边沿高于夹爪设置，输送架的上侧边沿高于链条设置。 4.根据权利要求1所述的用于晶圆的自动化输送检测设备，其特征在于：缺陷检测机构包括安装架、摄像头、调焦气缸和凸透镜，安装架固定安装在机架上，摄像头和调焦气缸均固定安装在安装架内，调焦气缸驱动凸透镜升降移动，摄像头通过凸透镜读取晶圆夹持机构位置的图像。 5.根据权利要求1所述的用于晶圆的自动化输送检测设备，其特征在于：气缸架的右侧固定安装有定位杆，机架内固定安装有定位块，定位块设置在第二气缸的后侧，定位块上成型有定位孔，定位杆间隙配合安装在定位孔内。 6.根据权利要求1所述的用于晶圆的自动化输送检测设备，其特征在于：上爪和下爪的内侧均成型有晶圆安装缺口。 7.根据权利要求1所述的用于晶圆的自动化输送检测设备，其特征在于：夹爪和第一气缸均设置有三个以上。 8.根据权利要求1所述的用于晶圆的自动化输送检测设备，其特征在于：机架的下侧固定安装有若干个万向轮。