原文传递
涂敷方法及涂敷装置
| 专利名称： | 涂敷方法及涂敷装置 |
| 摘要： | 在上浮输送方式中有效地降低或抑制在形成于被处理基板上的处 理液的涂敷膜上产生条纹状的涂敷不均。在涂敷区域中，沿X方向延 伸的多条喷出线(C |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 稻益寿史;池田文彦;篠崎贤哉;大塚庆崇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-07-05T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200780028398.8 |
| 公开号： | CN101495244 |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 |
| 代理人： | 温大鹏 |
| 分类号： | B05C5/02(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
