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原文传递载物台装置及涂敷处理装置

专利名称：	载物台装置及涂敷处理装置
摘要：	本发明是以矩形基板的一对边实际上与输送方向平行而另一对边实际上与输送方向垂直的方式输送悬浮在载物台上方的矩形基板的载物台装置，载物台，具有用于喷射气体的多个气体喷射口、和用于利用吸气吸引矩形基板的多个吸气口，利用基于吸气机构的经由多个吸气口的吸引、和基于气体喷射机构的经由多个气体喷射口的气体喷射，使矩形基板实际上以水平姿势从载物台的表面悬浮一定高度，多个吸气口，为了在载物台上方输送矩形基板时，使吸气口的吸气压力变动在允许范围内，以基板的输送方向前端不会同时覆盖既定数量以上的
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	稻益寿史;山崎刚;宫崎一仁
专利状态：	有效
申请日期：	2006-01-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200680002991.0
公开号：	CN101107186
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	温大鹏
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
所属类别：	发明专利