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用于形成在一工艺过程晶舟中待定位的背对背的晶片批的方法，及用于形成晶片批的装卸系统
| 专利名称： | 用于形成在一工艺过程晶舟中待定位的背对背的晶片批的方法，及用于形成晶片批的装卸系统 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于形成在一侧待掺杂的晶片叠、尤其是在一侧 待掺杂的太阳能晶片叠的方法，以便用晶片批填装一工艺过程晶舟， 在所述工艺过程晶舟上将预定的偶数数量晶片成排地设置在一转送托 架的容纳槽中，所述转送托架在一水平面内夹紧并且具有一面向上的 堆叠开口。为了增加在工艺过程晶舟中的包装密度并因此增加扩散过 程的产量，将成排地设置在转送托架中的晶片的数量的一半以第一晶 片叠的形式从转送托架中转送到一位于转送托架外部的固定的准备位 置中，然后将成排地设置在转送托架中的晶片的数量的另一半以第二 晶片叠的形式从转送托架移出，并且将第二晶片叠这样地旋转，使得 第二晶片叠的晶片到达一相对于第一晶片叠的晶片在它的准备位置的 位置旋转180°的位置，并且随后将第二晶片叠转送到第一晶片叠的准 备位置，使第二晶片叠与第一晶片叠对准，并且然后通过分别使第一 晶片和第二晶片叠的相互相配的晶片的无需掺杂的侧面同时且叠合地 相互贴紧，使第二晶片叠与第一晶片叠形锁合地组合成包装状的背对 背晶片批(BTB晶片批)，随后由转送夹持器将BTB晶片批形锁合地 拾取，并装到工艺过程晶舟中。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 约纳斯雷德曼自动化技术有限公司 |
| 发明人： | S·约纳斯;L·雷德曼 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-11-22T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200780042195.4 |
| 公开号： | CN101553420 |
| 代理机构： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
| 代理人： | 沈英莹 |
| 分类号： | B65G49/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 德国柏林 |
| 主权项： | 1.用于形成在一侧待掺杂的晶片叠、尤其是在一侧待掺杂的太阳 能晶片叠的方法，以便用晶片批填装一工艺过程晶舟，在所述工艺过 程晶舟上将预定的偶数数量晶片成排地设置在一转送托架的容纳槽 中，所述转送托架在一水平面内夹紧并且具有一面向上的堆叠开口， 其特征在于， 成排地设置在转送托架中的晶片的数量的一半以第一晶片叠的形 式从转送托架中转送到一位于转送托架外部的固定的准备位置中，然 后将成排地设置在转送托架中的晶片的数量的另一半以第二晶片叠的 形式从转送托架移出，并且将第二晶片叠这样地旋转，使得第二晶片 叠的晶片到达一相对于第一晶片叠的晶片在它的准备位置的位置旋转 180°的位置，并且随后将第二晶片叠转送到第一晶片叠的准备位置， 使第二晶片叠与第一晶片叠对准，并且然后通过分别使第一晶片和第 二晶片叠的相互相配的晶片的无需掺杂的侧面同时且叠合地相互贴 紧，使第二晶片叠与第一晶片叠形锁合地组合成包装状的背对背晶片 批(BTB晶片批)，随后由转送夹持器将BTB晶片批形锁合地拾取， 并装到工艺过程晶舟中。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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