专利名称: | 用于晶片的存储系统 |
摘要: | 一种用于晶片(68)的存储系统(10),具有至少一个存储舱(12、 12a),其中在类似于圆柱体的包(37)中一个在另一个上面地存储晶片(68)。 位于邻近存储舱(12、12a)是包括机械手(54)的插入和分配舱(14)。 机械手(54)具有基本上在水平面内可移动的臂(56、58、60),利用所 述臂可将预定晶片(68)从预定包(37)中横向移走或插入预定包(37)。 在基本上在水平面内运动的传送装置(28、30)上在存贮舱(12、12a)中 设置包(37)。通过所述传送装置可将预定包(37) |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 动力微系统半导体设备股份有限公司 |
发明人: | T·J·莫兰 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2004-06-19T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200480018778.X |
公开号: | CN1816896 |
代理机构: | 北京市中咨律师事务所 |
代理人: | 杨晓光;李 峥 |
分类号: | H01L21/00(2006.01)I |
申请人地址: | 德国拉多尔夫采尔 |
所属类别: | 发明专利 |