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用于将晶片从晶片堆分离的方法和设备
| 专利名称： | 用于将晶片从晶片堆分离的方法和设备 |
| 摘要： | 在用于将晶片(12)从竖直晶片堆(16)分离的方法中，晶片(12)从上方经由从上面作用的运动装置(23)被单独地从上方传送离开。运动装置(23)设计为循环带(24)并具有抽吸表面(25)，最上方晶片(12)邻接并抵靠抽吸表面，其中，负压抽吸增强了晶片(12)抵靠抽吸表面的邻接。为了使多个位于彼此之上的晶片(12)分离，运动装置(23)经历下面两个步骤中的至少一个：a)对着顶部晶片的前导缘喷射水(30)，水从顶部晶片下面被倾斜地引导；b)运动装置(23)在剥离装置(32)上引导晶片(12)，剥离装置从下面接合到运动晶片(12)的下侧并且挤压晶片(12)抵靠抽吸表面(25)并且在其上产生制动作用；而后，晶片(12)被带到传输路径(35、37)上以便在上面传输而用于进一步处理。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 吉布尔.施密德有限责任公司 |
| 发明人： | R·休伯 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-12-11T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200880126572.7 |
| 公开号： | CN102006976A |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
| 代理人： | 薛峰;汲长志 |
| 分类号： | B28D5/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 德国弗罗伊登斯塔特 |
| 主权项： | 一种用于将晶片从晶片堆分离的方法，所述晶片堆以重叠的方式竖直堆叠，所述晶片经由从上面作用的运动装置被单独地从上方传送离开，其特征在于，所述运动装置以绕转方式构造并具有抽吸表面，顶部晶片施加在所述抽吸表面上，真空或抽吸增强了所述晶片在所述抽吸表面或所述运动装置上的接合，并且为了使几个重叠的晶片分离，在所述运动装置上执行下面两个步骤中的至少一个：a)对着所述顶部晶片的前导缘从所述顶部晶片下面以增强的方式倾斜地喷射水；b)所述运动装置在剥离设备上引导所述晶片，所述剥离设备从下面接合到运动晶片的下侧上并且挤压所述晶片抵靠所述运动装置或抽吸表面，并且还在其上产生制动作用；其中，接下来，所述晶片被带到传送装置上以便传送离开。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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