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原文传递从晶片堆分离晶片的方法

专利名称：	从晶片堆分离晶片的方法
摘要：	本发明涉及一种用于通过将晶片堆放在微波室中并将该晶片暴露于引起晶片之间的水蒸发的微波来从晶片堆单个地分离晶片的方法。
专利类型：	发明专利
申请人：	REC斯坎沃佛股份有限公司
发明人：	埃温·约翰内斯·奥弗里德;祖海尔·卡米尔·萨洛姆;索尔·克里斯蒂安·图夫;佩尔·阿尔内·王
专利状态：	有效
申请日期：	2007-03-13T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200780009280.0
公开号：	CN101405832
代理机构：	中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人：	车文;安翔
分类号：	H01L21/00(2006.01)I
申请人地址：	挪威波什格伦
主权项：	1.一种用于从被流体的表面张力保持在一起的晶片堆单个地分离晶片的方法，其中，该方法的特征在于：将晶片堆放在微波箱中，并以引起晶片之间的流体蒸发的强度和时间段将晶片暴露于微波。
所属类别：	发明专利