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原文传递用于搬运晶片的系统和方法

专利名称：	用于搬运晶片的系统和方法
摘要：	一种用于搬运晶片的系统，包括：至少一个卸载站；设计用于以一角度保持所述晶片的至少一个中间站；加工站；和配置用于在所述站之间移动所述晶片的传递装置。所述中间站可配置用于接纳处于背靠背结构的所述晶片。一种用于搬运晶片的设备，包括：在一侧，配置用于抓持各个晶片的真空抓持器；和在另一侧，配置用于在定位在所述晶片下方并抬升时支撑一个或多个晶片的重力抓持器。一种用于搬运晶片的方法，包括：卸载晶片；将所述晶片传递到中间站；将所述晶片从所述中间站传递到加工站；处理所述晶片；将所述晶片从所述加工站卸载；以及将所述晶片再装载在载体上，其中所述晶片通过传递装置卸载、传递和再装载。
专利类型：	发明专利
申请人：	ATS自动化加工系统公司
发明人：	弗雷德里克·里沃利耶;瑞安·丘伯
专利状态：	有效
申请日期：	2010-03-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201080014631.9
公开号：	CN102369595A
代理机构：	北京高文律师事务所 11359
代理人：	徐江华
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	加拿大安大略省
主权项：	一种用于搬运多个晶片的系统，所述晶片具有大致平面形的上表面和大致平面形的下表面，该系统包括：至少一个卸载站；具有前端和后端的至少一个中间站，所述至少一个中间站配置用于保持所述晶片，且所述晶片的平面相对于水平面成一角度定位；和配置用于在所述卸载站和所述中间站之间传送所述晶片的传递装置。
所属类别：	发明专利