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原文传递晶片搬运装置

专利名称：	晶片搬运装置
摘要：	通过第１传感器（１６）和第２传感器（１７）检测将要从若干晶片中取出的晶片的位置和将要取出的晶片上下两层晶片的位置，上述若干晶片的周边部保持在晶片盒（１３）的沟槽（１４）内。利用上述检测信息计算晶片（１５）的挠度并根据该计算结果确定搬运臂（１８）能否插入到将要取出的晶片（１５）下侧且不与下一层晶片（１５）相接触以及该搬运臂（１８）能否抬起将要取出的晶片（１５）而不与上一层晶片（１５）相接触。
专利类型：	发明专利
申请人：	奥林巴斯光学工业株式会社
发明人：	加藤智生; 木村桂司
专利状态：	有效
申请日期：	1998-10-13T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN98801545.5
公开号：	CN1242753
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：	王以平
分类号：	B65G49/07
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利