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搬运校准装置及应用该装置的晶片传输系统
| 专利名称： | 搬运校准装置及应用该装置的晶片传输系统 |
| 摘要： | 本发明公开了一种搬运校准装置及应用该装置的晶片传输系统，包括末端受动器，末 端受动器的后端与机械臂铰接，前端设有取物器，用于抓取物件；还包括驱动装置，可驱 动末端受动器绕铰接点转动；还包括校准装置，用于对被抓取物件定位校准；取物器上设 有取物槽，取物槽下部设有的定位面，用于对被抓取物件进行中心定位；机械臂上设有校 准器，用于对被抓取物进行圆周角度定义。主要用在半导体晶片加工过程中的晶片传输系 统中，传输并校准晶片，搬运可靠、校准精确，既可以应用于大气环境中，又可以应用于 真空环境中。取消了晶片 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 发明人： | 张之山 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-09-25T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200610113367.X |
| 公开号： | CN101154610 |
| 代理机构： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 赵镇勇 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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