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原文传递基板输送方法

专利名称：	基板输送方法
摘要：	将多张基板承载于一台手上而输送到准确的位置。将基板(16a、 16b)从输送室内搬入到处理室内时，使手(25)的第1载置部(15a) 位于设于处理室的第1处理位置(8a)的正上方，将配置于第1载置部(15a)的基板(16a)抬起后，使手(25)微小移动，使第2载置部(15b)位于第2处理位置(8b)的正上方。接着，将第2载置部(15b) 上的基板(16b)抬起。若从基板(16a、16b)与第1、第2处理位置 (8a、8b)之间抽出手(25)，使基板(16a、16b)下降，则基板(16a、 16b)准确地配置于第1、第2处理位置(8a、8b)上。若用与上述相反的顺序将基板(16a、16b)承载于手(25)上，则能够将处理室内的基板(16a、16b)准确地承载于第1、第2载置部(15a、15b)上而将其搬出。
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社爱发科
发明人：	吾乡健二
专利状态：	有效
申请日期：	2008-02-25T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200880001603.6
公开号：	CN101584034
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	朱美红
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本神奈川县
主权项：	1.一种基板输送方法，在输送机器人的手处设置第1、第2载置部，并将基板分别配置在上述第1、第2载置部上，使上述手移动至处理室内，并将上述基板配置于被设定在上述处理室内的第1、第2处理位置，其特征在于，在使上述第1载置部位于上述第1处理位置上，并将被配置于上述第1载置部的上述基板抬起的状态下，使上述手移动，使上述第2 载置部位于上述第2处理位置上。
所属类别：	发明专利