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基板输送装置和基板输送方法及真空处理装置
| 专利名称： | 基板输送装置和基板输送方法及真空处理装置 |
| 摘要： | 本发明可进行输送经由真空预备室的较大型的基板而不增大真空预备室的容积。在与真空处理室连接的负载锁定室(20)的内部，设置：层叠有基座板(71)和多个滑动板(72-74)的、进行多级滑动式地输送动作的基板输送机构(70)；和具有支撑基板G的周边部分的缓冲板(81，82)和支撑基板G的中心的支撑销(85)的基板交接机构(80)。这样，在设在大气侧的大气侧输送机构(50)的输送臂(51)和基板输送机构(70)之间进行基板G的交接动作而可以不挠曲基板G。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 中山秀树 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-05-28T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200410045528.7 |
| 公开号： | CN1574272 |
| 代理机构： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 龙淳 |
| 分类号： | H01L21/68 |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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