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基板输送装置及包括该装置的基板处理装置
| 专利名称： | 基板输送装置及包括该装置的基板处理装置 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基板输送装置，该输送装置包括：可滑行地安装 于框架轨道上的底板；安装于上述底板的上面，并在其上面承载基板 的上板；在底板上可旋转地连接上述上板的连接部件；将上述上板的 旋转半径限制在一定范围内的旋转限制装置。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 发明人： | 崔万寿;金正哲;朴镐胤 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-10-19T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200610149954.4 |
| 公开号： | CN1955089 |
| 代理机构： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 黄 威;杨小蓉 |
| 分类号： | B65G49/05(2006.01)I |
| 申请人地址： | 韩国京畿道 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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