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原文传递基板的输送装置以及输送方法

专利名称：	基板的输送装置以及输送方法
摘要：	本发明提供一种在使基板倾斜后在处理腔室进行处理时，可有效地进行基板对处理腔室的移交的基板输送装置，具有：将以水平状态送来的基板倾斜到设定的倾斜角度后，移交到处理腔室(6)的搬入移交部(3)；接受在搬入移交部倾斜到设定角度的所述基板后，以该倾斜角度在所述处理部内输送的倾斜输送部(4)；和从倾斜输送部接受以设定的倾斜角度在所述处理部腔室内输送的处理过的基板后，恢复到水平状态的搬出移交部(5)，搬入移交部和搬出移交部的至少一方，由在沿基板的输送方向依次并列设置并可分别设定基板的倾斜角
专利类型：	发明专利
申请人：	芝浦机械电子株式会社
发明人：	西部幸伸;矶明典;原晓;布施阳一
专利状态：	有效
申请日期：	2005-06-03T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200510074898.8
公开号：	CN1705097
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	沙捷
分类号：	H01L21/68
申请人地址：	日本神奈川县
所属类别：	发明专利