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原文传递基板输送装置以及基板吸附装置

专利名称：	基板输送装置以及基板吸附装置
摘要：	本申请提供一种基板输送装置以及基板吸附装置，能够不使基板产生褶皱而顺畅地输送基板。基板输送装置(1)吸附并输送基板，具备：吸附部(10)，能够在与基板(F)接近以及分离的方向上变形；以及驱动机构(20)，使吸附部(10)变形以使得吸附部(10)从中央部朝向两端部依次与基板(F)接近。另外，吸附部(10)在从中央部朝向两端部的方向上被划分为多个区域(10A～10I)，驱动机构(20)具有独立地驱动吸附部(10)的各区域的多个驱动部(200)。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	三星钻石工业股份有限公司
发明人：	西尾仁孝;高松生芳;上野勉
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-17T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-06T00:00:00+0800
申请号：	CN201910043236.6
公开号：	CN110092196A
代理机构：	北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人：	玉昌峰;李罡
分类号：	B65G49/06(2006.01);B;B65;B65G;B65G49
申请人地址：	日本大阪
主权项：	1.一种基板输送装置，吸附并输送基板，其特征在于，所述基板输送装置具备：吸附部，能够在与所述基板接近以及分离的方向上变形；以及驱动机构，使所述吸附部变形以使得所述吸附部从中央部朝向两端部依次与所述基板接近。 2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，所述吸附部在从所述中央部朝向所述两端部的方向上被划分为多个区域，所述驱动机构具有独立地驱动所述吸附部的各所述区域的多个驱动部。 3.根据权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，所述驱动部是气缸。 4.根据权利要求3所述的基板输送装置，其特征在于，所述驱动机构在每个所述区域中具备第一限位器，所述第一限位器在与所述基板分离的方向上限制所述区域的移动，调整与各所述区域对应的所述第一限位器，以便在沿使所述区域与所述基板分离的方向上驱动所述气缸的情况下，所述区域与所述基板之间的距离从所述中央部朝向所述两端部增大。 5.根据权利要求2至4中任一项所述的基板输送装置，其特征在于，所述驱动机构通过支承轴将各所述驱动部支承为能够转动，所述支承轴与从所述中央部朝向所述两端部的方向垂直且相对于所述基板平行。 6.根据权利要求5所述的基板输送装置，其特征在于，所述驱动机构具备将所述驱动部的转动限制在规定范围的第二限位器。 7.一种基板吸附装置，吸附基板，其特征在于，所述基板吸附装置具备：吸附部，能够在与所述基板接近以及分离的方向上变形；以及驱动机构，使所述吸附部变形以使得所述吸附部从中央部朝向两端部依次与所述基板接近。
所属类别：	发明专利