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基板吸附装置
| 专利名称： | 基板吸附装置 |
| 摘要： | 在壳体(1)的开口部(1b)内的管部件(15)上载置吸附基座(16)， 该吸附基座(16)设有吸附部(16a)以及与壳体(1)的开口部内壁至 少在三点上进行点接触的、弯曲形成为半球面状的接触面部(16c)，该 吸附基座(16)和滑动部件(9)之间架设有细丝(24)。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 发明人： | 林贵人;平户功二;木下齐;城崎修哉 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-04-26T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200480012097.2 |
| 公开号： | CN1784779 |
| 代理机构： | 北京三友知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 党晓林 |
| 分类号： | H01L21/68(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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