原文传递
基板输送装置和方法以及具有该装置的基板制造设备
| 专利名称： | 基板输送装置和方法以及具有该装置的基板制造设备 |
| 摘要： | 本发明提供基板输送装置和方法以及具有该装置的基板制造设备。 所述基板输送装置包括：一组轴；以及驱动部，用于使所述一组轴转动， 所述一组轴包括：具有第一长度的至少一个第一轴；第二轴，与所述第 一轴位于同一平面上，具有比所述第一长度短的第二长度；以及第三轴， 与所述第一轴位于同一平面上，具有比所述第一长度短的第三长度；其 中，所述第二轴位于比所述第一轴的另一端更靠近所述第一轴的一端的 位置，所述第三轴位于比所述第一轴的一端更靠近所述第一轴的另一端 的位置。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 细美事有限公司 |
| 发明人： | 金相吉;咸胜元 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-06-09T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910203661.3 |
| 公开号： | CN101604650 |
| 代理机构： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 |
| 代理人： | 李雪春;武玉琴 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 韩国忠清南道 |
| 主权项： | 1.一种基板输送装置，其特征在于包括： 一组轴；以及 驱动部，用于使所述一组轴转动， 所述一组轴包括： 具有第一长度的至少一个第一轴； 第二轴，与所述第一轴位于同一平面上，具有比所述第一长度短的 第二长度；以及 第三轴，与所述第一轴位于同一平面上，具有比所述第一长度短的 第三长度；其中， 所述第二轴位于比所述第一轴的另一端更靠近所述第一轴的一端的 位置，所述第三轴位于比所述第一轴的一端更靠近所述第一轴的另一端 的位置。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
