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原文传递面板元件缺陷检测系统

专利名称：	面板元件缺陷检测系统
摘要：	本发明公开了一种元件缺陷检测系统。该元件缺陷检测系统包括待检测元件；平台承载该待检测元件；电源单元；以及光源装置。该光源装置接受该电源单元的控制，以提供检测光给该待检测元件以检测是否有缺陷。光源装置包括阴极结构、阴极结构、荧光层、低压气体层。荧光层，位于该阴极结构与该阳极结构之间。低压气体层，填充于该阴极结构与该阳极结构之间，有诱导阴极均匀发射电子的作用，其中该低压气体层有一电子平均自由路径，允许至少足够数量的电子在一操作电压下直接撞击该荧光层。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	台湾;TW
申请人：	财团法人工业技术研究院
发明人：	李中裕;陈世溥;林依萍;卓连益
专利状态：	有效
申请日期：	2008-04-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200810095457.X
公开号：	CN101566583
代理机构：	北京市柳沈律师事务所
代理人：	彭久云
分类号：	G01N21/892(2006.01)I
申请人地址：	中国台湾新竹县
主权项：	1.一种元件缺陷检测系统，包括：待检测元件；电源单元；以及光源装置，承载该待检测元件，且接受该电源单元的控制，以提供检测光给该待检测元件以检测是否有缺陷，其中该光源装置包括：阴极结构；阳极结构；荧光层，位于该阴极结构与该阳极结构之间；以及低压气体层，填充于该阴极结构与该阳极结构之间，有诱导阴极均匀发射电子的作用，其中该低压气体层有一电子平均自由路径，允许至少足够数量的电子在一操作电压下直接撞击该荧光层。
所属类别：	发明专利