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对象物的物理量测定方法及控制方法
| 专利名称： | 对象物的物理量测定方法及控制方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种光传感技术，其用于利用布里渊散射现象，对 存在于微细构造物上或微细构造物中的对象物的物理量进行测定及 控制。在该测定方法中，在微型化学芯片或IC芯片等元件上或元件 中一维至三维地设置光波导路，基于该光波导路中产生的布里渊散射 光的特性变化，测定对象物的物理量。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 住友电气工业株式会社 |
| 发明人： | 林哲也;屉冈英资;山本义典;片山诚;蟹江智彦;石川真二;市川经 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-12-19T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200780048805.1 |
| 公开号： | CN101573593 |
| 代理机构： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 分类号： | G01D5/353(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本大阪府 |
| 主权项： | 1.一种对象物的物理量测定方法，其用于测定存在于元件上或 者元件中的对象物的物理量， 在该物理量测定方法中， 准备光波导路，其一维至三维地配置在所述元件上或者元件中， 然后， 基于由所述光波导路中产生的布里渊散射引起的在所述光波导 路中传输的光的特性变化，测定所述对象物的物理量。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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