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芯片外观缺陷自动检测装置及检测方法
| 专利名称： | 芯片外观缺陷自动检测装置及检测方法 |
| 摘要： | 本发明公开了芯片的一种外观缺陷自动检测装置及检测方法，该检测装置 包括：控制电脑、芯片自动传送系统，控制电脑设有缺陷智能识别系统，芯片 自动传送系统与缺陷智能识别系统连接；该检测方法的步骤为：(1)调整对被 测芯片照明的光源；经过光学镜头，传送到CCD摄像机，(2)将CCD摄像机 所成图像通过线缆传输到控制电脑，(3)缺陷智能识别系统工作，进行图像识 别，检测与评判图像，(4)缺陷智能识别系统发送相应信号到控制电路以控制 传送装置、分流机械进行合格品与非合格品的产品分流；本发明可以对芯片外 观缺陷进行自动检测，实现准确、可靠和高效的芯片外观质量检测。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 华南理工大学 |
| 发明人： | 黄 茜;吴 元 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-05-27T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910039848.4 |
| 公开号： | CN101576508 |
| 代理机构： | 广州市华学知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 黄 磊;李卫东 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I |
| 申请人地址： | 510640广东省广州市天河区五山路381号 |
| 主权项： | 1、一种芯片外观缺陷自动检测装置，其特征在于：包括控制电脑、芯片自 动传送系统、CCD摄像机，所述控制电脑设有缺陷智能识别系统，所述缺陷智 能识别系统与CCD摄像机连接，所述芯片自动传送系统与控制电脑连接，CCD 摄像机朝向被测芯片。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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