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原文传递输送机和成膜装置及其维护方法

专利名称：	输送机和成膜装置及其维护方法
摘要：	一种输送机和成膜装置及其维护方法。在具有框架、支撑纵向放置有基板的托架并输送托架的下部支撑机构、和支撑托架的上部支撑机构的输送机中，框架由下部框架和上部框架构成，下部支撑机构设置于下部框架上，上部支撑架构设置于上部框架上，上部框架能够与下部框架分离而移动。于是，通过旋转上部框架，能够将阴极部件配置在形成于下部框架上方的空间内，因此可以使成膜处理路径与托架输送路径之间的间隔狭窄。因此，由于可以使成膜装置的内部区域狭窄，可以在能够输送托架的输送机以及具有该输送机并具有真空处理装置和输送系统的成膜装置中，使其设置面积狭小化。
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社爱发科
发明人：	石野耕司;中村肇;松田麻也子;进藤孝明;小清水孝治
专利状态：	有效
申请日期：	2008-04-15T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200880009163.9
公开号：	CN101641272
代理机构：	北京德琦知识产权代理有限公司
代理人：	齐蔡;王诚华
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	日本神奈川县
主权项：	1、一种输送机，具有：框架，支撑纵向放置有基板的托架并输送所述托架的下部支撑机构，和支撑所述托架的上部支撑机构，该输送机的特征在于，所述框架由下部框架和上部框架构成，所述下部支撑机构设置在下部框架上，所述上部支撑机构设置在上部框架上，所述上部框架能够与所述下部框架分离而移动。
所属类别：	发明专利