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超高压4H-SiC MOSFET器件设计及关键工艺研究
| 论文题名： | 超高压4H-SiC MOSFET器件设计及关键工艺研究 |
| 关键词： | 超高压;MOSFET;4H-SiC;器件设计 |
| 作者： | 谭犇 |
| 专业： | 微电子学与固体电子学 |
| 导师： | 邓小川 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 电子科技大学 |
| 学位年度： | 2019 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 超高压4H-SiC MOSFET器件设计及关键工艺研究 |
| 关键词： | 超高压;MOSFET;4H-SiC;器件设计 |
| 作者： | 谭犇 |
| 专业： | 微电子学与固体电子学 |
| 导师： | 邓小川 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 电子科技大学 |
| 学位年度： | 2019 |
| 正文语种： | 中文 |