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传送基板至二个或多个的工艺模块的方法
| 专利名称： | 传送基板至二个或多个的工艺模块的方法 |
| 摘要： | 本发明是一种传送基板至二个或多个的工艺模块的方法，其包括下列步骤。将至少一基板加载至一个或多个横向移动室内，其中横向移动室承载于邻近两个或多个工艺模块的一轨道上，且每一横向移动室在基板进行传送时维持一特定气体条件。启动一个或多个驱动系统以推动一个或多个横向移动室沿着轨道移动。将横向移动室接合至至少一工艺模块，并将至少一基板从横向移动室传送到至少一工艺模块。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 英属开曼群岛商精曜有限公司 |
| 发明人： | 雷仲礼;麦华山;刘弘苍;朴乾兑;朴相珣;吴子仲;朱乐聪;罗恩·罗斯;申镇宇;王晓明 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-06-25T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910150901.8 |
| 公开号： | CN101767717A |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
| 代理人： | 梁爱荣 |
| 分类号： | B65G49/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 英属开曼群岛大开曼省乔治城 |
| 主权项： | 一种传送基板至二个或多个的工艺模块的方法，其特征在于，包括：加载至少一基板于一或多个的横向移动室内，其中所述横向移动室承载于一轨道上，且所述轨道邻近二或多个的工艺模块，每一所述横向移动室在对所述基板进行运送时维持一特定气体条件；启动一或多个的驱动系统以推动一或多个的所述横向移动室沿着所述轨道移动；接合所述横向移动室于至少一所述工艺模块；以及将至少一所述基板从所述横向移动室运送到至少一所述工艺模块。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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