详情

原文传递气浮式基板输送装置

专利名称：	气浮式基板输送装置
摘要：	本实用新型公开了一种气浮式基板输送装置，包括气爪和气浮载台，所述气爪用于将基板夹持并固定于所述气浮载台上，所述气浮载台包括气板，所述气板上具有与充气系统相连的若干个喷气孔，且所述气板上表面的喷气量从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。本实用新型气浮式基板输送装置的气板上表面边缘的喷气量大于气板中心的喷气量，解决了基板输送时气体容易集中到基板下部中心位置导致基板变形的问题，使基板始终处于平整的悬浮状态；另，本实用新型气浮式基板输送装置采用非接触式输送方式，具有无噪音、无污染、免维修、输送效率高的优点。
专利类型：	实用新型专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	东莞宏威数码机械有限公司
发明人：	杨明生;范振华;覃海;蓝劾
专利状态：	有效
申请日期：	2009-12-31T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200920317658.X
公开号：	CN201626700U
代理机构：	广州三环专利代理有限公司 44202
代理人：	张艳美;郝传鑫
分类号：	B65G47/06(2006.01)I
申请人地址：	523018 广东省东莞南城区宏图高新科技开发区东莞宏威数码机械有限公司
主权项：	一种气浮式基板输送装置，包括气爪和气浮载台，所述气爪用于将基板夹持并固定于所述气浮载台上，其特征在于：所述气浮载台包括气板，所述气板上具有与充气系统相连的若干个喷气孔，且所述气板上表面的喷气量从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。
所属类别：	实用新型