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原文传递气浮式基板角度定位结构

专利名称：	气浮式基板角度定位结构
摘要：	本实用新型公开了一种气浮式基板角度定位结构。包括：一主架体，包括有着置部以及气浮板装设端；一可旋摆式气浮设备，组设于该主架体的气浮板装设端，包括有气浮板以及气源供应装置，该气浮板具有一基板导入端，该气浮设备通过一角度调整装置构成该气浮板倾斜角度；至少一第一承靠限位构件及第二承靠限位构件，分设于该气浮板上基板限位的X、Y轴相临二侧向固定位置处。以此设计，使本实用新型能够达到兼具基板输送作业更具灵活变化性以及达到精简构件、降低制造成本的较佳产业经济效益。
专利类型：	实用新型专利
国家地区组织代码：	台湾;71
申请人：	帆宣系统科技股份有限公司
发明人：	徐益盛;李育臻
专利状态：	有效
申请日期：	2011-06-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201120213615.4
公开号：	CN202138864U
代理机构：	北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：	申海庆
分类号：	B65G51/02(2006.01)I
申请人地址：	中国台湾台北市南港区园区街3-2号6楼
主权项：	一种气浮式基板角度定位结构，其特征在于包括：一主架体，包括有着置部以及气浮板装设端；一可旋摆式气浮设备，组设于该主架体的气浮板装设端，包括有气浮板以及气源供应装置，该气浮板具有一基板导入端，该气浮设备通过一角度调整装置构成该气浮板倾斜角度；至少一第一承靠限位构件及第二承靠限位构件，分设于该气浮板上基板限位的X、Y轴相临二侧向固定位置处。
所属类别：	实用新型