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原文传递 玻璃基板非接触式气浮输运装置
专利名称: 玻璃基板非接触式气浮输运装置
摘要: 本发明公开一种玻璃基板非接触式气浮输运装置,包括气浮导轨,所述气浮导轨设置在基座上,其水平度可调节,所述气浮导轨上阵列设置有若干凹槽,所述凹槽底部两侧对应设置有进气孔和出气孔,所述凹槽中设置有排气孔,所述进气孔通过三位五通阀连通正压气管,所述出气孔通过三位五通阀连通负压气管,所述排气孔连通负压气管。本发明利用空气流动产生的粘性效果作为驱动力,实现了真正的完全无接触,玻璃基板不易受到污染或损坏,竖直方向气流影响不显著,能够降低气流对工件的扰动,设置均压槽将凹槽内成对供气孔和吸气孔相连,能够减少槽内乱流现象的发生,进一步增大粘性牵引驱动力。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 江苏;32
申请人: 江苏科技大学
发明人: 钟伟;王边
专利状态: 有效
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201810733607.9
公开号: CN108910534A
代理机构: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204
代理人: 柏尚春
分类号: B65G49/06(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G49;B65G49/06
申请人地址: 212003 江苏省镇江市梦溪路2号
主权项: 1.一种玻璃基板非接触式气浮输运装置,其特征在于,包括气浮导轨(2),所述气浮导轨(2)可调节设置在基座(3)上,所述气浮导轨(2)上阵列设置有若干凹槽(11),所述凹槽(11)底部两侧对应设置有进气孔(8)和出气孔(13),所述凹槽(11)中设置有排气孔(9),所述进气孔(8)通过三位五通阀连通正压气源(19),所述出气孔(13)通过三位五通阀连通负压气源(20),所述排气孔(9)连通负压气源(20)。
所属类别: 发明专利
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