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原文传递 玻璃基板气浮装置
专利名称: 玻璃基板气浮装置
摘要: 本公开涉及一种玻璃基板气浮装置,该装置包括基座(1),设置于所述基座(1)上方的气浮条(2),用于调节气浮条(2)相对于基座(1)高度的升降机构(3),以及用于设置所述升降机构(3)所需高度的控制机构。本公开的装置通过升降机构调节气浮条相对于基座的高度,升降机构的所需高度通过控制机构设置,从而能够使气浮条达到所需的平面度要求。
专利类型: 实用新型
国家地区组织代码: 安徽;34
申请人: 芜湖东旭光电装备技术有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭集团有限公司
发明人: 郭向阳;郭锋;刘文泰;李腾
专利状态: 有效
申请号: CN201821094807.6
公开号: CN208429614U
代理机构: 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447
代理人: 苏瑞;耿超
分类号: B65G49/06(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G49
申请人地址: 241000 安徽省芜湖市江北产业集中区管委会A楼302室
主权项: 1.一种玻璃基板气浮装置,其特征在于,该装置包括基座(1),设置于所述基座(1)上方的气浮条(2),用于调节气浮条(2)相对于基座(1)高度的升降机构(3),以及用于设置所述升降机构(3)所需高度的控制机构。
所属类别: 实用新型
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