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一种适于气浮系统的玻璃基板检测方法
| 专利名称： | 一种适于气浮系统的玻璃基板检测方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种适于气浮系统的玻璃基板检测方法。该检测方法包括以下步骤：(1)将气浮板上的正压喷嘴和负压喷嘴设置为间隔点阵排列；(2)沿气浮板斜向排列的负压喷嘴位置设为扫描路径；(3)光源向下照射到由气浮板承载的被测玻璃基板的表面，以相机作为接收器沿着扫描路径对被测玻璃基板进行斜向扫描，实现被测玻璃基板不同位置的反射成像。本发明通过设计正负压喷嘴排列方式以及控制像机扫描路径，使得扫描路径始终沿着玻璃基板振动的波谷进行检测，从而将玻璃基板的振动对检测结果的影响减少到最小，相应地提高了测量精度。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 安徽;34 |
| 申请人： | 合肥工业大学 |
| 发明人： | 黄斌;徐筱波;陈梅仙;周扬;刘春柱;张勇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811317601.X |
| 公开号： | CN109323988A |
| 代理机构： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 |
| 代理人： | 沈尚林 |
| 分类号： | G01N21/01(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 230001 安徽省合肥市屯溪路193号 |
| 主权项： | 1.一种适于气浮系统的玻璃基板检测方法，包括以下步骤：(1)将气浮板上的正压喷嘴和负压喷嘴设置为间隔点阵排列；(2)沿气浮板上斜向排列的负压喷嘴位置设为扫描路径；(3)光源向下照射到由气浮板承载的被测玻璃基板的表面，以相机作为接收器沿着扫描路径对被测玻璃基板进行斜向扫描，实现被测玻璃基板不同位置的反射成像。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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