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缺陷分类方法、计算机存储介质以及缺陷分类装置
| 专利名称： | 缺陷分类方法、计算机存储介质以及缺陷分类装置 |
| 摘要： | 提供一种缺陷分类方法、计算机存储介质以及缺陷分类装置，本发明的缺陷分类装置具有设计单元和诊断单元，设计单元中，在模型生成部中将模板存储部内的缺陷模板和教学用图像合成来生成缺陷模型，在类别设定部中算出缺陷模型中的缺陷的特征量并设定缺陷的类别。缺陷的特征量与类别的关系被存储到存储部。诊断单元中，在特征量算出部中根据基板的检查对象图像算出缺陷的特征量，在分类部中根据该缺陷的特征量利用存储部内的缺陷的特征量与类别的关系将基板的缺陷分类为类别。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 岩永修儿 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-03-11T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200980111110.2 |
| 公开号： | CN101981683A |
| 代理机构： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
| 代理人： | 刘新宇 |
| 分类号： | H01L21/66(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 主权项： | 一种缺陷分类方法，根据拍摄得到的基板的检查对象图像来对该基板的缺陷进行分类，该缺陷分类方法的特征在于，具有以下工序：设计工序，根据缺陷的特征量来设定缺陷的类别，将上述缺陷的特征量与上述类别的关系存储到存储部内；特征量算出工序，根据拍摄得到的上述基板的检查对象图像算出该基板的缺陷的特征量；以及分类工序，根据所算出的上述缺陷的特征量，利用在上述存储部内所存储的上述缺陷的特征量与上述类别的关系，将上述基板的缺陷分类为上述类别，其中，上述设计工序具有以下工序：第一工序，制作多个缺陷模板；第二工序，将无缺陷的基板的教学用图像和上述缺陷模板合成来生成缺陷模型；第三工序，算出上述缺陷模型中的缺陷的特征量；第四工序，对上述缺陷模型中的缺陷的特征量设定缺陷的类别；以及第五工序，将上述缺陷的特征量与上述类别的关系存储到上述存储部。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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