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原文传递缺陷检查装置、缺陷检查方法以及计算机可读记录介质

专利名称：	缺陷检查装置、缺陷检查方法以及计算机可读记录介质
摘要：	本发明提供一种缺陷检查装置、缺陷检查方法以及计算机可读记录介质。缺陷检查装置包括：获取部，获取检查对象物的检查图像；图像生成部，通过对检查图像适用以使用学习用的图像数据提取一个以上的特征的方式进行了事先学习的已学习识别器，而生成一个以上的特征提取图像；检查部，基于用以判定检查对象物中有无检测对象部位的一个以上的判定用参数及基于特征提取图像而生成的二值化图像来确定与缺陷对应的区域；以及设定部，使用确定了与缺陷对应的区域的二值化图像即设定用图像，算出基于设定用图像的像素的颜色的浓度的图像得分，并以使区域的内部的图像得分与区域的外部的图像得分之差相对变大的方式更新判定用参数。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	欧姆龙株式会社
发明人：	池田泰之;栗田真嗣
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-24T00:00:00+0800
申请号：	CN201910030739.X
公开号：	CN110274908A
代理机构：	北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人：	杨文娟;臧建明
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本京都府京都市下京区盐小路通堀川东入南不动堂町801番地(邮编:600-8530)
主权项：	1.一种缺陷检查装置，其特征在于，包括：获取部，获取检查对象物的检查图像；图像生成部，通过对所述检查图像适用以使用学习用的图像数据提取一个以上的特征的方式进行了事先学习的已学习识别器，而生成一个以上的特征提取图像；检查部，基于用以判定所述检查对象物中有无缺陷的一个以上的判定用参数及基于所述特征提取图像而生成的二值化图像来确定与所述缺陷对应的区域；以及设定部，使用确定了与所述缺陷对应的所述区域的所述二值化图像即设定用图像，算出基于所述设定用图像的像素的颜色的浓度的图像得分，并以使所述区域的内部的图像得分与所述区域的外部的图像得分之差相对变大的方式更新所述判定用参数。 2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述二值化图像包括白色的像素及黑色的像素，对所述白色的像素与所述黑色的像素分别对应有浓度值，所述设定部针对所述区域内所含的多个像素，算出所述浓度值的合计值作为第1图像得分，针对所述区域外所含的多个像素，算出所述浓度值的合计值作为第2图像得分，并以使所述第1图像得分与所述第2图像得分之差成为最大的方式更新所述判定用参数。 3.根据权利要求1或2所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述检查部基于更新后的所述判定用参数及所述二值化图像来判定有无所述缺陷，并输出判定结果。 4.根据权利要求3所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述检查部至少输出基于更新后的所述判定用参数而确定了所述缺陷的所述二值化图像，以作为所述判定结果。 5.根据权利要求1或2所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述判定用参数包括用以生成所述二值化图像的二值化等级。 6.根据权利要求1或2所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述判定用参数包括用以判定所述缺陷的一个以上的判定项目以及针对所述判定项目的各者而设定的判定阈值。 7.根据权利要求6所述的缺陷检查装置，其特征在于，用以判定所述缺陷的一个以上的所述判定项目包括所述二值化图像中以同色的像素块表现的规定的区域的面积、外切矩形的宽度和/或高度、周长、纵横比、圆形度中的至少一者，所述判定阈值包括针对各判定项目而设定的上限值和/或下限值。 8.根据权利要求6所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述判定项目及所述判定阈值是基于所述图像生成部或所述检查部的学习时所使用的学习用的图像数据中所含的所述缺陷的特征而决定。 9.根据权利要求1或2所述的缺陷检查装置，其特征在于，还包括：显示部，受理所述区域的指定，所述检查部基于预定的所述判定用参数来确定要被判定为所述缺陷的所述区域，并且将确定出的所述区域与所述检查图像一起输出至所述显示部，所述设定部基于经由所述显示部而受理到的所述区域的指定来生成所述设定用图像。 10.根据权利要求1或2所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述检查部在所述二值化图像中，基于针对用以判定所述缺陷的一个以上的特征量的各者而设定的判定阈值，确定所述二值化图像中要被判定为所述缺陷的所述区域，并将确定出的所述区域提示给用户，所述设定部受理来自所述用户的、虽被所述检查部判定为所述缺陷但不应该被判定为所述缺陷的所述区域、和/或虽未被所述检查部判定为所述缺陷但应被判定为所述缺陷的所述区域的指定，并基于所述指定来更新所述判定阈值。 11.根据权利要求10所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述判定用参数包括用以判定所述缺陷的一个以上的判定项目以及针对各判定项目而设定的所述判定阈值，用以判定所述缺陷的一个以上的所述判定项目与所述判定阈值是基于所述用户的指定而决定。 12.一种缺陷检查方法，其特征在于，计算机执行如下步骤：获取检查对象物的检查图像的步骤；通过对所述检查图像适用以使用学习用的图像数据提取一个以上的特征的方式进行了事先学习的已学习识别器，而生成一个以上的特征提取图像的步骤；基于用以判定所述检查对象物中有无检测对象部位的一个以上的判定用参数及基于所述特征提取图像而生成的二值化图像来确定与缺陷对应的区域的步骤；以及使用确定了与所述缺陷对应的所述区域的所述二值化图像即设定用图像，算出基于所述设定用图像的像素的颜色的浓度的图像得分，并以使所述区域的内部的图像得分与所述区域的外部的图像得分之差相对变大的方式更新所述判定用参数的步骤。 13.一种包括程序的计算机可读记录介质，其特征在于，所述程序使计算机作为如下部件而发挥功能：获取检查对象物的检查图像的部件；通过对所述检查图像适用以使用学习用的图像数据提取一个以上的特征的方式进行了事先学习的已学习识别器，而生成一个以上的特征提取图像的部件；基于用以判定所述检查对象物中有无检测对象部位的一个以上的判定用参数及基于所述特征提取图像而生成的二值化图像来确定与缺陷对应的区域的部件；以及使用确定了与所述缺陷对应的所述区域的所述二值化图像即设定用图像，算出基于所述设定用图像的像素的颜色的浓度的图像得分，并以使所述区域的内部的图像得分与所述区域的外部的图像得分之差相对变大的方式更新所述判定用参数的部件。
所属类别：	发明专利