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原文传递缺陷检查装置、缺陷检查方法及计算机可读存储介质

专利名称：	缺陷检查装置、缺陷检查方法及计算机可读存储介质
摘要：	本发明提供一种缺陷检查装置、缺陷检查方法及计算机可读存储介质，能够根据检查对象或背景图像来灵活地利用经事先学习的识别器的技术。所述缺陷检查装置具备：存储部，存储已学习模型和对所述已学习模型设定的内部参数；获取部，获取在规定的条件下所拍摄的检查对象的图像；前处理部，根据由获取部所获取的包含缺陷的检查对象的图像即前处理图像中的特征量、和与内部参数对应的特征量，生成规定的前处理过滤器，将所生成的前处理过滤器适用于由获取部所获取的检查对象的图像即检查图像而对所述检查图像进行转换，由此生成已前处理图像；以及检查部，针对已前处理图像，使用所存储的已学习模型来对检查对象有无缺陷进行检查。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	欧姆龙株式会社
发明人：	池田泰之;栗田真嗣
专利状态：	有效
申请日期：	2018-09-11T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-21T00:00:00+0800
申请号：	CN201811055662.3
公开号：	CN109781733A
代理机构：	北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人：	杨贝贝;臧建明
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本京都府京都市下京区盐小路通堀川东入南不动堂町801番地(邮编:600-8530)
主权项：	1.一种缺陷检查装置，其特征在于包括：存储部，存储已学习模型和对所述已学习模型设定的内部参数；获取部，获取在规定的条件下所拍摄的检查对象的图像；前处理部，根据由所述获取部所获取的包含缺陷的检查对象的图像即前处理图像中的特征量、和与所述内部参数对应的特征量，生成规定的前处理过滤器，将所生成的所述前处理过滤器适用于由所述获取部所获取的检查对象的图像即检查图像而对所述检查图像进行转换，由此生成已前处理图像；以及检查部，针对所述已前处理图像，使用所述存储的已学习模型来检查所述检查对象有无缺陷。 2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述前处理部是以所述前处理图像中的包含所述缺陷的缺陷区域的特征量的宽度包含在与所述内部参数对应的特征量的范围内的方式，来生成用于对所述前处理图像进行转换的前处理过滤器。 3.根据权利要求2所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述前处理部是以所述前处理图像中的所述缺陷区域以外的背景区域的图案的宽度超出与所述内部参数对应的特征量的范围的方式，来生成用于对所述前处理图像进行转换的前处理过滤器。 4.根据权利要求2或3所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述前处理部从外部受理所述前处理图像中的所述缺陷区域的指定，基于所受理的所述缺陷区域来生成所述前处理过滤器。 5.根据权利要求2或3所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述前处理部基于所述缺陷区域来生成对所述前处理图像进行放大或缩小的所述前处理过滤器。 6.根据权利要求2或3所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述前处理部通过多个缩放率来使所述前处理图像中的至少包含所述缺陷区域的部分发生变动，至少对所述部分生成特征检测图像，根据以多个缩放率进行变动时的、所述特征检测图像的所述缺陷区域内的浓度与所述缺陷区域外的浓度之差为最大时的缩放率，生成对所述前处理图像进行放大或缩小的所述前处理过滤器，所述特征检测图像是以表示与所述内部参数对应的特征的区域的浓度变得比其他区域更大的方式，而以浓淡来表示。 7.根据权利要求1至3中任一项所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述前处理部生成使所述前处理图像的光亮度变得平坦的前处理过滤器。 8.根据权利要求7所述的缺陷检查装置，其特征在于还包括：显示部，显示所述已前处理图像。 9.根据权利要求8所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述显示部能够比较地显示所述已前处理图像、与提取出缺陷的检查结果图像。 10.根据权利要求1至3中任一项所述的缺陷检查装置，其特征在于包括：输入部，对由获取部所获取的包含缺陷的检查对象的图像中、为了生成所述前处理过滤器而使用的前处理图像的用户选择进行受理，其中所述前处理部根据所述前处理图像中的特征量、和与所述内部参数对应的特征量来生成规定的前处理过滤器。 11.根据权利要求1至3中任一项所述的缺陷检查装置，其特征在于包括：序列输入部，对使多个处理序列中的哪个序列执行的用户选择进行受理，其中所述多个处理序列包含准备工序序列与运用工序序列，所述准备工序序列是所述前处理部生成所述前处理过滤器的序列，所述运用工序序列是将所生成的所述前处理过滤器适用于所述检查图像，以检查所述检查对象中所含的缺陷的有无的序列。 12.根据权利要求11所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述运用工序序列是执行下述处理，即，根据是否识别出所述检查对象的缺陷的检查结果的内容，通过所述前处理部来更新所述前处理过滤器。 13.一种缺陷检查方法，其特征在于，计算机执行下述步骤：存储已学习模型和对所述已学习模型设定的内部参数；获取在规定的条件下所拍摄的检查对象的图像；根据通过所述获取步骤而获取的包含缺陷的检查对象的图像即前处理图像中的特征量、和与所述内部参数对应的特征量，生成规定的前处理过滤器，将所生成的所述前处理过滤器适用于通过所述获取步骤而获取的检查对象的图像即检查图像来对所述检查图像进行转换，由此生成已前处理图像；以及针对所述已前处理图像，使用所述存储的已学习模型来检查所述检查对象有无缺陷。 14.一种计算机可读存储介质，其上存储有程序，其特征在于，所述程序使计算机作为下述部件发挥功能：存储已学习模型和对所述已学习模型设定的内部参数的部件；获取在规定的条件下所拍摄的检查对象的图像的部件；根据由所述获取部件所获取的包含缺陷的检查对象的图像即前处理图像中的特征量、和与所述内部参数对应的特征量，生成规定的前处理过滤器，将所生成的所述前处理过滤器适用于由所述获取部件所获取的检查对象的图像即检查图像而对所述检查图像进行转换，由此生成已前处理图像的部件；以及针对所述已前处理图像，使用所述存储的已学习模型来检查所述检查对象有无缺陷的部件。
所属类别：	发明专利